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专利号: 2023217043827
申请人: 苏州特斯特半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-01-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,包括:

竖直设置的支撑块(1);

纵向设于所述支撑块(1)顶部、并用于提供纵向张合驱动力的第一驱动组件(2),所述第一驱动组件(2)的两侧设置有张合组件(3);以及,横向设于所述张合组件(3)下方、并用于提供升降驱动力的第二驱动组件(4)以及设于所述第二驱动组件(4)上用于承载基片的升降板(5),所述升降板(5)位于两侧张合组件(3)之间。

2.根据权利要求1所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述第一驱动组件(2)采用正反牙双向滑台直线模组。

3.根据权利要求1所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述支撑块(1)的顶部开设有装配槽,所述装配槽内安装有横向的支撑板(6)。

4.根据权利要求3所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述第二驱动组件(4)包括竖直设于所述支撑板(6)两侧的气缸,所述气缸上的活塞杆与所述升降板(5)连接。

5.根据权利要求2所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述张合组件(3)包括连接于所述第一驱动组件(2)两侧滑台的张合块(301)以及设于所述张合块(301)上的基片支撑槽(302),所述基片支撑槽(302)的上方设置有挡板(303),所述挡板(303)与所述基片支撑槽(302)之间形成一个基片限位槽。

6.根据权利要求5所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述基片限位槽和所述升降板(5)上设置有感应基片的光电开关(7)。

7.根据权利要求1所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述升降板(5)上设置有真空吸附孔(501),所述真空吸附孔(501)通过管道(502)外接真空气管。

8.一种划片机,其特征在于,包括划片机本体以及如权利要求1‑7任一所述的半导体基片对中机构。