1.一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,包括:
竖直设置的支撑块(1);
纵向设于所述支撑块(1)顶部、并用于提供纵向张合驱动力的第一驱动组件(2),所述第一驱动组件(2)的两侧设置有张合组件(3);以及,横向设于所述张合组件(3)下方、并用于提供升降驱动力的第二驱动组件(4)以及设于所述第二驱动组件(4)上用于承载基片的升降板(5),所述升降板(5)位于两侧张合组件(3)之间。
2.根据权利要求1所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述第一驱动组件(2)采用正反牙双向滑台直线模组。
3.根据权利要求1所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述支撑块(1)的顶部开设有装配槽,所述装配槽内安装有横向的支撑板(6)。
4.根据权利要求3所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述第二驱动组件(4)包括竖直设于所述支撑板(6)两侧的气缸,所述气缸上的活塞杆与所述升降板(5)连接。
5.根据权利要求2所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述张合组件(3)包括连接于所述第一驱动组件(2)两侧滑台的张合块(301)以及设于所述张合块(301)上的基片支撑槽(302),所述基片支撑槽(302)的上方设置有挡板(303),所述挡板(303)与所述基片支撑槽(302)之间形成一个基片限位槽。
6.根据权利要求5所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述基片限位槽和所述升降板(5)上设置有感应基片的光电开关(7)。
7.根据权利要求1所述的一种划片机半导体基片对中机构,其特征在于,所述升降板(5)上设置有真空吸附孔(501),所述真空吸附孔(501)通过管道(502)外接真空气管。
8.一种划片机,其特征在于,包括划片机本体以及如权利要求1‑7任一所述的半导体基片对中机构。