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专利号: 2022230888106
申请人: 苏州特斯特半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
更新日期:2025-04-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种划片机基片上料机构,其特征在于,包括:

用于提供水平移动驱动力的第一驱动件(1);

设于所述第一驱动件(1)、并用于提供竖直移动驱动力的第二驱动件(2),所述第二驱动件(2)受所述第一驱动件(1)所提供的水平移动驱动力进行水平移动;

设于所述第二驱动件(2)底部、并用于抓取基片的吸盘组件(3),所述吸盘组件(3)受所述第一驱动件(1)和所述第二驱动件(2)所提供的驱动力进行水平移动和竖直移动;以及,设于所述吸盘组件(3)一侧、并用于夹取基片的夹持组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种划片机基片上料机构,其特征在于,所述第一驱动件(1)采用直线模组,所述直线模组固定于划片机机台两侧的立柱。

3.根据权利要求1所述的一种划片机基片上料机构,其特征在于,所述第二驱动件(2)采用滚珠丝杆直线模组,所述滚珠丝杆直线模组上设置有与所述吸盘组件(3)连接的支撑架(5)。

4.根据权利要求3所述的一种划片机基片上料机构,其特征在于,所述吸盘组件(3)包括与所述支撑架(5)连接的底座(301)以及设于所述底座(301)下方的气盘(302),所述气盘(302)的下方设置有吸盘座(303),所述吸盘座(303)上安装有真空吸盘(304)。

5.根据权利要求4所述的一种划片机基片上料机构,其特征在于,所述夹持组件(4)包括:设于所述吸盘组件(3)一侧、并用于提供夹持驱动力的手指气缸(401);以及,设于所述底座(301)、并用于提供翻转驱动力的旋转摆动气缸(402),所述旋转摆动气缸(402)通过摆杆(403)与所述手指气缸(401)连接,所述手指气缸(401)受所述旋转摆动气缸(402)所提供的翻转驱动力翻转到所述吸盘组件(3)的上方或所述吸盘组件(3)的一侧。

6.根据权利要求5所述的一种划片机基片上料机构,其特征在于,所述手指气缸(401)的一侧安装有感应基片的第一感应开关(6)。

7.根据权利要求5所述的一种划片机基片上料机构,其特征在于,所述旋转摆动气缸(402)的两侧设置有与所述底座(301)连接的第二感应开关(7);所述摆杆(403)上设置有遮挡光线的感应片(8),所述感应片(8)受所述旋转摆动气缸(402)所提供的翻转驱动力始终与其中一侧的第二感应开关(7)连接。

8.一种划片机,其特征在于,包括划片机本体以及如权利要求1‑7任一所述的划片机基片上料机构。