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专利号: 2023206148628
申请人: 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2026-03-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置,包括供气转轴(1)和轴套(2),其特征在于,所述供气转轴(1)通过轴套(2)固定在炉下盖(4)的底部,所述供气转轴(1)与炉下盖(4)共轴设置,炉下盖(4)的下方固定有用于供气转轴(1)转动的驱动装置;

所述供气转轴(1)的顶端贯穿炉下盖(4)的底部,延伸至石墨坩埚(5)内,所述供气转轴(1)上固定设有用于放置石墨坩埚(5)的托盘(51);

所述供气转轴(1)的轴心线上设有两端封闭的供气通道(11),所述供气转轴(1)位于轴套(2)内的轴截面上设有多个第一通孔(13),所述第一通孔(13)与所述供气通道(11)相连通,所述轴套(2)对应所述第一通孔(13)的位置设有贯穿的第二通孔(21),所述第二通孔(21)上连接有供气嘴(3);

所述供气转轴(1)的顶部沿周向设有多个供气孔(15),所述供气孔(15)斜向延伸与所述供气通道(11)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置,其特征在于,所述驱动装置包括减速电机(6),所述减速电机(6)固定在安装板(7)上,所述安装板(7)通过连杆(8)固定安装在炉下盖(4)的底部,所述减速电机(6)的输出轴上固定设有主动齿盘(9),所述供气通道(11)对应主动齿盘(9)的位置固定设有从动齿盘(10),所述从动齿盘(10)与主动齿盘(9)相啮合。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置,其特征在于,所述石墨坩埚(5)的底部设有与所述供气转轴(1)尺寸大小相适配的孔。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置,其特征在于,所述供气转轴(1)的外侧沿轴向设有环形通气槽(12),所述第一通孔(13)的一端与所述环形通气槽(12)相连通。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置,其特征在于,所述供气转轴(1)轴截面两侧的供气孔(15)构成V型结构。