1.一种碳化硅晶体生长炉下盖总成，包括炉体下盖(1)，所述炉体下盖(1)的底部固定连接有盖板(2)，炉体下盖(1)的一侧设有抽气口(11)，其特征在于，所述盖板(2)的轴心位置贯穿设有转轴(3)，所述转轴(3)通过轴套(4)固定连接在所述盖板(2)上；

所述盖板(2)的下方固定设有用于所述转轴(3)旋转的驱动机构；

所述转轴(3)位于炉体下盖(1)内的一端上固定设有托盘(6)，所述托盘(6)上固定设有用于放置石墨坩埚(8)的石英管(7)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉下盖总成，其特征在于，所述炉体下盖(1)的顶部设有与炉体对接的法兰(12)，所述法兰(12)的外侧设有环状的固定板(13)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉下盖总成，其特征在于，所述驱动机构包括减速电机(5)、主动齿盘(51)和从动齿盘(52)，所述主动齿盘(51)固定设置在减速电机(5)的输出轴上，所述从动齿盘(52)固定设置在从动齿盘(52)上，所述从动齿盘(52)与主动齿盘(51)相啮合，所述盖板(2)的下方通过连接杆(54)固定设有安装板(53)，所述减速电机(5)固定设置在安装板(53)上。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉下盖总成，其特征在于，所述托盘(6)的顶部固定设有石墨垫板(61)，所述石墨垫板(61)的顶部设有用于固定所述石英管(7)的卡槽(62)。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅晶体生长炉下盖总成，其特征在于，所述石墨垫板(61)的周向上设有多个向内凹陷的凹槽(63)。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉下盖总成，其特征在于，所述石墨坩埚(8)的底部设有与石英管(7)匹配的底垫(81)，所述底垫(81)可插接在石英管(7)上。

7.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉下盖总成，其特征在于，所述托盘(6)的轴心线上竖直固定设有支撑杆(64)，所述石墨坩埚(8)插接在支撑杆(64)内，石墨坩埚(8)的底部设有与支撑杆(64)外径适配的开孔。