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专利号: 202320403644X
申请人: 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2026-03-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种碳化硅晶体生长炉操作台,包括操作台主体支架(1),所述操作台主体支架(1)的顶部设有台面(2),所述台面(2)的中部设有用于安装碳化硅晶体生长炉(3)的槽口(21),其特征在于,所述台面(2)为宽面结构,所述碳化硅晶体生长炉(3)与台面(2)边缘之间构成行走区(22);

所述操作台主体支架(1)的一侧设有活动连接的下箱体(4)和上箱体(5),所述下箱体(4)、上箱体(5)处于抽出状态后,与台面(2)组成梯台;

所述下箱体(4)与操作台主体支架(1)之间设有直线驱动机构(6),所述直线驱动机构(6)设置在下箱体(4)内部;

所述下箱体(4)的顶部后方设有用于推动上箱体(5)的推板(41);

在下箱体(4)被推出后,所述上箱体(5)与操作台主体支架(1)之间设有用于下箱体(4)自动收回操作台主体支架(1)内部的复位装置。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉操作台,其特征在于,所述操作台主体支架(1)的侧部设有护板(11),底部设有调整脚(12)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉操作台,其特征在于,所述台面(2)上位于行走区(22)的位置上设有防滑垫(23)。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉操作台,其特征在于,所述上箱体(5)的两侧固定设有垫块(51),所述垫块(51)为橡胶块。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉操作台,其特征在于,所述直线驱动机构(6)为电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的两端通过转动连接座(61)固定在操作台主体支架(1)和下箱体(4)上。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉操作台,其特征在于,所述复位装置包括固定块(52)、限位杆(53)、复位弹簧(54)和限位螺母(55),所述固定块(52)设置在上箱体(5)的顶部后方,所述限位杆(53)以滑动的连接方式贯穿设置在所述固定块(52)上,所述限位杆(53)的一端固定在上箱体(5)上,另一端设有限位螺母(55),所述限位杆(53)与上箱体(5)固定的一侧套设有复位弹簧(54)。

7.根据权利要求1‑6任一项所述的一种碳化硅晶体生长炉操作台,其特征在于,所述下箱体(4)和上箱体(5)的顶面上均布有向上突出的防滑凸起(7)。