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专利号: 2022220684757
申请人: 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2026-03-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种自动供气式碳化硅晶体生长炉,包括支撑架(1)、生长炉(2)、调节室(8),所述支撑架(1)上端与生长炉(2)固定相连,所述生长炉(2)内设有生长器主体(17),所述生长炉(2)上方可拆卸设有封堵盖(5),所述生长炉(2)前方设有贯穿的观察窗(4),所述生长器主体(17)下方固定设有底柱(16),所述生长器主体(17)上方可拆卸设有生长器盖体(18),所述生长器盖体(18)上端固定设有提拉杆(6),所述提拉杆(6)与底柱(16)固定连接有升降机构(3),其特征在于,所述生长器主体(17)与生长炉(2)内壁之间构成内腔(7),所述生长炉(2)位于内腔(7)的两侧贯穿设有通气管(9),一侧的通气管(9)内设有单向阀,另一侧的通气管(9)位于生长炉(2)外侧贯穿调节室(8),所述调节室(8)与生长炉(2)固定相连,所述调节室(8)内通过中心轴(27)设有旋转盘(20),所述旋转盘(20)上环绕设有通气孔(21)与封闭垫(22),所述生长炉(2)位于调节室(8)一侧固定设有固定架(10),所述固定架(10)上固定设有电机(11),所述电机(11)的旋转轴(24)固定设有旋转涡轮(13),所述旋转盘(20)的侧边处设有齿纹(23),所述旋转涡轮(13)与旋转盘(20)之间齿纹(23)相连,所述固定架(10)一侧固定设有检测仪(12),所述检测仪(12)的检测柱(14)贯穿生长炉(2)延伸至内腔(7)内。

2.根据权利要求1所述的一种自动供气式碳化硅晶体生长炉,其特征在于,所述通气孔(21)从大到小设有多个,所述通气孔(21)与封闭垫(22)的圆心在同一个圆上,该圆的圆心与中心轴(27)的截面圆心点重合,所述旋转盘(20)将通气管(9)截断,通气管(9)与其滑动连接处固定设有密闭环(26),所述通气管(9)的截面圆心处与通气孔(21)、封闭垫(22)的圆心点处相重合,所述密闭环(26)与封闭垫(22)紧密相连。

3.根据权利要求1所述的一种自动供气式碳化硅晶体生长炉,其特征在于,所述旋转轴(24)固定连接有位于生长炉(2)外壁内的内转轴(25),所述升降机构(3)固定在支撑架(1)上,所述封堵盖(5)贯穿设有固定钮(15)。

4.根据权利要求1所述的一种自动供气式碳化硅晶体生长炉,其特征在于,所述检测仪(12)与电机(11)通过电信号相连,所述电机(11)的运转根据检测仪(12)的测量结果控制。