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专利号: 2023204348475
申请人: 南京宏泰晶智能装备科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2026-03-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构,包括轨道架(1),所述轨道架(1)固定在操作台上,其特征在于,所述轨道架(1)设置在炉体(5)的一侧,并高于炉体(5),所述轨道架(1)内设有适配的移动架(3),所述移动架(3)的两侧设有滑轮(31),所述轨道架(1)的两侧设有与限位滑轮(31)适配的滑槽(11),所述滑轮(31)滑动连接在滑槽(11)内,所述轨道架(1)上设有用于驱动移动架(3)升降的直线驱动机构;

所述移动架(3)的朝向炉体(5)的一侧固定连接有支架立板(7),所述支架立板(7)的两端固定设有半圆结构的上叉臂(71)和下叉臂(72),所述上叉臂(71)和下叉臂(72)之间固定有加热高频线圈(6),所述加热高频线圈(6)套设在炉体(5)的外侧,所述炉体(5)的外部固定有贯穿在上叉臂(71)和下叉臂(72)的支撑杆(51),所述支撑杆(51)与上叉臂(71)和下叉臂(72)之间滑动连接;

所述支撑杆(51)的下部一侧设有限位槽(52),所述下叉臂(72)的侧部对应限位槽(52)的位置设有销轴(8),所述销轴(8)与限位槽(52)重合时,销轴(8)可插入至限位槽(52)内,使所述炉体(5)随下叉臂(72)一起向上移动。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构,其特征在于,所述轨道架(1)的两侧固定设有三脚架结构的加强支架(12)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构,其特征在于,所述直线驱动机构包括横置在轨道架(1)底部的减速电机(2),所述减速电机(2)的输出端通过联轴器连接有丝杆(4),所述丝杆(4)贯穿设置在移动架(3)内,所述移动架(3)上固定设有两个移动块(32),所述丝杆(4)贯穿移动块(32),并与移动块(32)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构,其特征在于,所述上叉臂(71)与支撑杆(51)之间设有轴套(53),所述轴套(53)套设在支撑杆(51)上,并固定设置在上叉臂(71)上。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构,其特征在于,所述炉体(5)在直线驱动机构的驱动下,最大提升高度大于坩埚(9)的总高度。