1.一种晶圆输送装置，其特征在于，包括马达、导螺杆、连接所述马达与所述导螺杆的联轴器，以及螺接于所述导螺杆上的晶圆承载台，所述马达用于带动所述导螺杆转动，以使所述晶圆承载台做直线运动；

所述晶圆输送装置还包括检测器和控制器，所述控制器分别与所述检测器和所述马达电连接，所述检测器用于检测所述联轴器与所述马达的连接状态以及所述联轴器与所述导螺杆的连接状态并发送至所述控制器，所述控制器用于在所述联轴器脱离所述马达和/或所述导螺杆时，控制所述马达停止转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述晶圆输送装置还包括连接于所述马达的输出轴上的第一连接件和连接于所述导螺杆上的第二连接件，所述第一连接件远离所述马达的一端连接于所述第二连接件远离所述导螺杆的一端。

3.根据权利要求2所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一连接件为第一磁铁，所述第二连接件为第二磁铁。

4.根据权利要求3所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述检测器包括第一接触开关，所述晶圆输送装置还包括电源，所述第一接触开关串联连接于所述电源与所述马达之间，所述控制器用于控制所述电源的开启，当所述第一磁铁和所述第二磁铁相互脱离时，所述第一接触开关断开。

5.根据权利要求4所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一接触开关连接于所述第一磁铁和所述第二磁铁之间。

6.根据权利要求4所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一接触开关连接于第二磁铁上，所述晶圆输送装置还包括连接于所述第一磁铁上的固定座，当所述第一磁铁和所述第二磁铁脱离时，所述固定座远离所述第一接触开关，所述第一接触开关断开。

7.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述检测器为距离传感器，所述距离传感器用于检测所述联轴器与所述马达的第一距离信息以及所述联轴器与所述导螺杆的第二距离信息；当所述第一距离信息对应的距离值大于第一预设值时和/或所述第二距离信息对应的距离值大于第二预设值时，所述控制器控制所述马达停止转动。

8.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述晶圆输送装置还包括电源，所述检测器包括第二接触开关和第三接触开关，所述第二接触开关设于所述联轴器与所述马达之间，所述第三接触开关设于所述联轴器与所述导螺杆之间；所述控制器用于控制所述电源的开启，所述第二接触开关和所述第三接触开关串联连接于所述电源与所述马达之间，当所述联轴器脱离所述马达和/或所述导螺杆时，所述第二接触开关和/或所述第三接触开关断开。

9.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述检测器为图像采集器，所述图像采集器用于采集所述联轴器与所述马达的连接状态以及所述联轴器与所述导螺杆的连接状态。

10.一种半导体设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任意一项所述的晶圆输送装置。