1.半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，包括烘干装置本体(1)和净化箱体(2)，其特征在于，所述烘干装置本体(1)的顶部一侧开设有排气孔(6)，净化箱体(2)的内部顶端一侧安装有抽气泵(9)，所述抽气泵(9)的抽气端连接有抽气管(8)，所述抽气管(8)的一端贯穿至净化箱体(2)的外部且连接在烘干装置本体(1)上的排气孔(6)处，所述抽气泵(9)的出气端连接有出气管(12)，所述净化箱体(2)的内部安装有支架，所述支架上通过固定机构安装有第一分离过滤器(13)和第二分离过滤器(17)，所述出气管(12)的一端与第一分离过滤器(13)入口连接，所述第一分离过滤器(13)的出口与第二分离过滤器(17)的入口之间连接有第一输送管(15)，所述第二分离过滤器(17)的出口连接有第二输送管(4)，所述第一分离过滤器(13)的顶端安装有第一出气阀(10)，所述第二分离过滤器(17)的顶端安装有第二出气阀(11)，所述第一出气阀(10)和第二出气阀(11)共同连接在第三输送管(3)上，所述净化箱体(2)的底端设置有移动组件；

所述支架包括安装在净化箱体(2)底端内壁的支撑杆(14)，四根支撑杆(14)的顶端连接有安装板(16)，所述固定机构设置在安装板(16)的顶端。

2.根据权利要求1所述的半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，其特征在于，所述固定机构包括开设在安装板(16)顶端的滑槽(24)，滑槽(24)中通过轴承安装有双向螺纹杆(23)，双向螺纹杆(23)的两端均螺接有滑块(25)，两个滑块(25)的顶端均焊接有夹杆(26)，所述安装板(16)的侧壁安装有伺服电机(22)，伺服电机(22)的输出轴一端贯穿至滑槽(24)中与双向螺纹杆(23)的一端传动连接，两根夹杆(26)的底端均与安装板(16)的底端滑动接触，所述第一分离过滤器(13)和第二分离过滤器(17)均位于两根夹杆(26)之间。

3.根据权利要求1所述的半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，其特征在于，所述抽气管(8)上还安装有电磁阀(7)。

4.根据权利要求1所述的半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，其特征在于，所述第二输送管(4)的一端贯穿至净化箱体(2)的外部，且第二输送管(4)外接储气装置。

5.根据权利要求1所述的半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，其特征在于，所述第三输送管(3)的一端贯穿至净化箱体(2)的外部，且第三输送管(3)连接废气收集装置。

6.根据权利要求1所述的半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，其特征在于，所述移动组件包括安装在净化箱体(2)底端四角处的固定板(21)，四块固定板(21)的底端均焊接有弹簧(20)，四根弹簧(20)的底端均焊接有连接板(18)，四块连接板(18)的底端均安装有刹车脚轮(19)。

7.根据权利要求1所述的半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，其特征在于，所述净化箱体(2)的一侧安装有侧门(5)，且侧门(5)上设置有把手。