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专利号: 202021938618X
申请人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-04-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆传送机台壳体,其特征在于,所述晶圆传送机台壳体包括外壳本体及透明件;

所述外壳本体内开设有用于容置晶圆传送组件的传送腔室,所述外壳本体的至少一个壳体侧壁上开设有与所述传送腔室连通的观测口;

所述透明件安装在与所述观测口对应的所述壳体侧壁上,并对所述观测口进行封闭。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送机台壳体,其特征在于,所述晶圆传送机台壳体还包括平移盖板;

与所述观测口对应的所述壳体侧壁的外侧表面上安装有容置卡槽,所述平移盖板卡设在所述容置卡槽内,并可相对于所述容置卡槽移动,以遮盖或显露所述透明件。

3.根据权利要求2所述的晶圆传送机台壳体,其特征在于,所述晶圆传送机台壳体还包括驱动马达及控制器;

所述驱动马达与所述控制器安装在所述外壳本体上,所述驱动马达通过齿轮与所述平移盖板啮合传动,所述控制器与所述驱动马达电性连接,以控制所述驱动马达驱动所述平移盖板进行移动。

4.根据权利要求1所述的晶圆传送机台壳体,其特征在于,所述晶圆传送机台壳体还包括可旋盖板;

与所述观测口对应的所述壳体侧壁的外侧表面上设置有安装凸台,所述可旋盖板的转轴部与所述安装凸台活动连接,并可相对于所述安装凸台所在的平面转动,以遮盖或显露所述透明件。

5.根据权利要求4所述的晶圆传送机台壳体,其特征在于,所述晶圆传送机台壳体还包括驱动马达及控制器;

所述驱动马达与所述控制器安装在所述外壳本体上,所述驱动马达的转子与所述可旋盖板的转轴部固定连接,所述控制器与所述驱动马达电性连接,以控制所述驱动马达驱动所述可旋盖板进行转动。

6.根据权利要求1所述的晶圆传送机台壳体,其特征在于,所述晶圆传送机台壳体还包括调光玻璃、调光触发器及控制器;

所述透明件内开设有与所述调光玻璃匹配的容置槽,所述调光玻璃容置在所述容置槽内;

所述调光触发器与所述控制器安装在所述外壳本体上,所述调光触发器与所述调光玻璃电性连接,所述控制器与所述调光触发器电性连接,以控制所述调光触发器通电或断电,使所述调光触发器触发所述调光玻璃变为透明状态或雾化状态。

7.根据权利要求3、5或6所述的晶圆传送机台壳体,其特征在于,所述晶圆传送机台壳体还包括安装在所述外壳本体上的通信单元;

所述通信单元与身份认证设备通信连接,所述控制器与所述通信单元电性连接,用于根据接收到的身份认证结果控制与该控制器连接的电子元件的工作状态,以调控所述传送腔室内部经所述透明件的可观测状态。

8.一种晶圆传送设备,其特征在于,所述晶圆传送设备包括晶圆传送组件及权利要求

1-7中任意一项所述的晶圆传送机台壳体,所述晶圆传送组件容置在所述晶圆传送机台壳体的传送腔室内。

9.根据权利要求8所述的晶圆传送设备,其特征在于,所述晶圆传送设备还包括监控摄像头;

所述监控摄像头安装在所述传送腔室内,以对所述晶圆传送组件的晶圆传送过程进行监测。

10.一种磊晶制程系统,其特征在于,所述磊晶制程系统包括真空反应舱、晶体生长舱及权利要求8或9所述的晶圆传送设备。