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专利号: 2019109987492
申请人: 莆田市城厢区诺林贸易有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕
更新日期:2024-11-13
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种光刻机用晶圆片涂胶系统,其结构包括电机(1)、支架(2)、主转轴(3)、调节杆(4)、吸盘(5)、水平调节装置(6)、支撑圆盘(7),其特征在于:所述支架(2)下方设有电机(1),所述电机(1)与主转轴(3)底部相连接,所述主转轴(3)顶部贯穿支架(2)并通过调节杆(4)与吸盘(5)相连接,所述支撑圆盘(7)设在支架(2)上方并与之相平行,所述支撑圆盘(7)与主转轴(3)垂直焊接在一起,所述吸盘(5)底部设有水平调节装置(6);

所述水平调节装置(6)包括伸缩杆(8)、外磁铁(9)、滑轨(10)、水平检测盒(11),所述水平检测盒(11)顶部与吸盘(5)底部贴合并连接在一起,所述水平检测盒(11)为圆形,所述水平检测盒(11)的外侧设有滑轨(10),所述滑轨(10)内设有外磁铁(9),所述外磁铁(9)侧面与伸缩杆(8)顶部相配合,所述伸缩杆(8)底部与支撑圆盘(7)相连接,所述外磁铁(9)外侧面设有凹槽(90),所述伸缩杆(8)顶部设在凹槽(90)内,所述支撑圆盘(7)上设有圆形滑槽(71),所述圆形滑槽(71)内设有滑块(72),所述滑块(72)与伸缩杆(8)底部相连接;

所述水平检测盒(11)包括内磁铁(12)、盒体(13)、微电机(14)、移动杆(15)、液位传感器(16)、中心轴(17),所述盒体(13)内顶部安装有微电机(14),所述微电机(14)与设在下方的中心轴(17)相连接,所述中心轴(17)与移动杆(15)垂直连接,所述移动杆(15)的两端分别连接有内磁铁(12)、液位传感器(16),所述内磁铁(12)与盒体(13)内壁相贴合,所述水平检测盒(11)内填充有水,所述主转轴(3)顶部设有球形槽(30),所述调节杆(4)底部设有球体(40),所述球体(40)设在球形槽(30)内部。