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专利号: 2021105427198
申请人: 玉环隆森机械有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-05-31
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种能够清理晶圆多余涂抹材料并二次利用的晶圆涂覆系统,包括机体(10),其特征在于:所述机体(10)中设置有控制模块,所述机体(10)的上侧壁固定设置有第三固定块(14),所述第三固定块(14)的右端面固定设置有第四固定块(17);

吸盘加持机构(A01),所述吸盘加持机构(A01)位于所述机体(10)的上方,所述吸盘加持机构(A01)用与对晶圆进行吸盘加持;

单口转换机构(A02),所述单口转换机构(A02)位于所述第三固定块(14)的右侧壁,所述单口转换机构(A02)位于所述吸盘加持机构(A01)的上方,所述单口转换机构(A02)用于出料;

回收机构(A03),所述回收机构(A03)位于所述机体(10)的内部,所述回收机构(A03)用于会回收耐光材料进行二次利用。

2.根据权利要求1所述的一种能够清理晶圆多余涂抹材料并二次利用的晶圆涂覆系统,其特征在于:所述吸盘加持机构(A01)包括开设在所述机体(10)中的第一槽,所述第一槽的左侧壁开设有下排气孔(63),所述第一槽中设置有中心杆(65),所述中心杆(65)的外圆周侧壁套设有挡板(66),所述挡板(66)的上端面固定设置有第一固定块,所述第一固定块位于所述第一槽的左侧壁,所述第一固定块开设有第一通孔,所述第一通孔与所述下排气孔(63)对齐,所述中心杆(65)的左右两侧固定设置有两个左右对称的下电动块(64),所述机体(10)开设有下排风槽(67),所述下排风槽(67)与所述第一槽连通,所述机体(10)的右侧壁固定设置有C形出气块(28),所述C形出气块(28)开设有通气槽,所述通气槽与所述下排风槽(67)连通。

3.根据权利要求1所述的一种能够清理晶圆多余涂抹材料并二次利用的晶圆涂覆系统,其特征在于:所述吸盘加持机构(A01)还包括固定设置在所述机体(10)上侧壁上的圆环,所述圆环的内部设置有风机(70),所述中心杆(65)的外圆周侧面沿所述中心杆(65)的圆周方向均匀设置有多个第二扇叶(73),所述第二扇叶(73)位于所述圆环内,所述中心杆(65)的左右两侧对称设置有两个限位块(72),所述限位块(72)位于所述第二扇叶(73)的下方,所述机体(10)的上端面设置有两个左右对称的连接杆(68),两个所述连接杆(68)相互靠近的一侧与固定设置有两个左右对称的传动杆(69),两个所述传动杆(69)分别向圆环方向延伸且贯穿所述圆环的外侧壁,两个所述传动杆(69)分别开设有一个下限位槽(71),所述限位块(72)在所述下限位槽(71)中滑动,所述圆环的上部外圆周侧面套设有支撑块(32),所述支撑块(32)的下端面与所述连接杆(68)的上端面固定连接,所述支撑块(32)开设有第六槽(33),所述支撑块(32)的上端面均匀固定设置有三个第五固定块(34),每个所述第五固定块(34)开设有第七槽(35),每个所述第七槽(35)与所述第六槽(33)连通,每个所述第五固定块(34)的上端面固定设置有吸盘(36),所述支撑块(32)开设有进气孔(37),所述进气孔(37)与所述第六槽(33)连通,所述支撑块(32)开设有L形通气槽(39),所述L形通气槽(39)与所述进气孔(37)连通,所述L形通气槽(39)中固定设置有连接块(38),所述L形通气槽(39)的下侧壁开设有下出料槽(40),所述下出料槽(40)与所述L形通气槽(39)连通,所述支撑块(32)开设有第一环槽,所述第一环槽中滑动设置有两个左右对称的侧边清理组件。

4.根据权利要求3所述的一种能够清理晶圆多余涂抹材料并二次利用的晶圆涂覆系统,其特征在于:所述清理组件包括滑动在所述第一环槽中的第一滑块(41),所述第一滑块(41)开设有第一滑槽,所述第一滑槽的侧壁固定设置有两个前后对称的第九固定块(48),两个所述第九固定块(48)中转动设置有弧形杆,所述弧形杆开设有弧形槽(43),所述弧形槽(43)的后侧壁开设有上出料槽(53),后侧所述第九固定块(48)开设有扇叶槽(49),所述扇叶槽(49)与所述上出料槽(53)连通所述扇叶槽(49)与所述第四L形槽(52)连通,所述扇叶槽(49)中设置有第三轴(50),所述第三轴(50)的外圆周侧壁沿所述第三轴(50)的圆周方向均匀设置有多个第一扇叶(51),所述第一扇叶(51)与所述弧形杆固定连接,所述第四L形槽(52)与所述L形通气槽(39)连通,所述弧形杆的远离所述支撑块(32)的一端固定连接有第八固定块(45),所述第八固定块(45)远离所述支撑块(32)的一端面固定设置有第七固定块(44),第八固定块(45)的上端面固定设置有刮板(46),所述刮板(46)与所述第七固定块(44)的靠近所述支撑块(32)的一端面固定连接,所述第八固定块(45)开设有第八槽(47)所述第八槽(47)与所述弧形槽(43)连通。

5.根据权利要求1所述的一种能够清理晶圆多余涂抹材料并二次利用的晶圆涂覆系统,其特征在于:所述单口转换机构(A02)包括开设在所述第四固定块(17)中的耐光材料槽(20),所述第四固定块(17)开设有水槽(24),所述第四固定块(17)的下侧壁转动设置有第一轴(18),所述第一轴(18)外侧套设有齿环(19),所述第一电机(21)的右侧壁固定设置有第一电机(21),所述水槽(24)的左侧壁固定设置有喷水电机,所述第四固定块(17)开设有两个左右对称的通气孔(16),所述通气孔(16)分别于所述耐光材料槽(20)和所述水槽(24)连通。

6.根据权利要求5所述的一种能够清理晶圆多余涂抹材料并二次利用的晶圆涂覆系统,其特征在于:所述单口转换机构(A02)还包括开设在所述第四固定块(17)中的第二槽,所述第四固定块(17)开设有第三槽,所述第二槽中转动设置有齿轮(22),所述第二槽的下端面开设有转动槽(25),所述转动槽(25)与所述第三槽连通,所述转动槽(25)中转动设置有第二轴(23),所述第二轴(23)的上端面与所述齿轮(22)的下端面固定连接,所述第二轴(23)的外圆周侧面套设有扭簧,所述扭簧与所述齿轮(22)的下端面转动块(26)的上端面固定连接,所述第二轴(23)的外圆周侧面套设有转动块(26),所述转动块(26)开设有第四槽,所述第四槽中固定设置有出料头(27),所述出料头(27)的右端面固定设置有第十固定块(54),所述第十固定块(54)开设有转动槽(55),所述转动槽(55)向左延伸贯穿所述出料头(27)的侧壁,所述第四固定块(17)开设有两个左右对称的限位槽(59),转动槽(55)前后侧壁之间转动设置有第四轴(56),所述第四轴(56)连接有绳(57)的一端,所述绳(57)的另一端与所述齿轮(22)固定连接,所述第四轴(56)套设有回转块(60),所述回转块(60)的外圆周侧面沿所述回转块(60)的外圆周侧面均匀设置有多个冲击板,所述第四固定块(17)开设有两个前后对称的第五槽,所述第五槽与相对应的所述限位槽(59)连通,所述第五槽中滑动设置有齿条(58),所述第四轴(56)的外圆周侧面套设有两个前后对称的上齿轮(61),两个所述上齿轮(61)分别于对应的齿条(58)啮合,两个所述上齿轮(61)相互靠近的一侧开设有第一开口,所述回转块(60)的前后两侧对称设置有与所述第一开口对接的两个第二固定块,所述转动槽(55)的槽底固定设置有第一电磁滑块,所述第一电磁滑块上滑动设置有第二电磁滑块,所述第二电磁滑块上固定设置有C形块(62),所述C形块(62)内侧与所述回转块(60)的前后侧面抵接。

7.根据权利要求1所述的一种能够清理晶圆多余涂抹材料并二次利用的晶圆涂覆系统,其特征在于:所述回收机构(A03)包括开设在所述机体(10)中的第二环槽(29),所述第二环槽(29)的下端面开设有第三环槽(30),所述第三环槽(30)的下端面开设有第四环槽(31),所述第四环槽(31)坐高右低,所述第四环槽(31)左部的下端面开设有第二开口,所述第二开口中设置有电动门,所述机体(10)开设有第一L形槽(11),所述第一L形槽(11)与所述第四环槽(31)连通,所述第三固定块(14)中开设有第二L形槽(12),所述第二L形槽(12)与所述第一L形槽(11)连通,所述第二L形槽(12)中固定设置有泵(13),所述第四固定块(17)中开设有第三L形槽(15),所述第三L形槽(15)与所述耐光材料槽(20)连通。