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专利号: 2024221185810
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-06-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆光刻设备,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部的后侧固定连接有背板(2),所述背板(2)的顶部固定连接有顶板(3),所述底板(1)顶部的左侧固定连接有定位座(4),所述底板(1)顶部的右侧固定连接有晶圆放置盒(5),所述顶板(3)的表面开设有方槽(6),所述顶板(3)的右侧固定连接有正反电机(7),所述正反电机(7)的输出端贯穿至方槽(6)的内部并固定连接有螺杆(8),所述螺杆(8)的左端与方槽(6)内壁的左侧转动连接,所述螺杆(8)的表面螺纹连接有螺块(9),所述螺块(9)的前后两侧均与方槽(6)内壁的前后两侧滑动连接,所述螺块(9)的底部固定连接有电动伸缩杆(10),所述电动伸缩杆(10)的底部固定连接有移动板(11),所述移动板(11)的底部固定连接有吸盘机械手(12),所述吸盘机械手(12)位于晶圆放置盒(5)上方,所述顶板(3)底部左方的前侧设置有光刻机械手(13)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻设备,其特征在于:所述移动板(11)的正面固定连接有第一支杆(14),所述第一支杆(14)的顶部固定连接有空心伸缩杆(15),所述空心伸缩杆(15)的顶部与顶板(3)的底部滑动连接,所述移动板(11)的背面固定连接有第二支杆(16),所述第二支杆(16)的后端与背板(2)的正面滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻设备,其特征在于:所述顶板(3)顶部的左侧固定连接有压力感应块(17),所述压力感应块(17)与正反电机(7)电性连接,所述螺块(9)左侧的上方固定连接有凸条(18),所述方槽(6)内壁的右侧固定连接有缓冲块(19),所述螺块(9)的右侧与缓冲块(19)的左侧贴合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻设备,其特征在于:所述定位座(4)的顶部固定连接有限位圈(20),所述定位座(4)的顶部固定连接有位于限位圈(20)内部的防护垫(21),所述定位座(4)顶部的中央固定连接有定位吸盘(22)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻设备,其特征在于:所述晶圆放置盒(5)内壁的底部固定连接有海绵垫(23),所述晶圆放置盒(5)的内壁固定连接有防护圈(24),所述晶圆放置盒(5)和防护圈(24)的前侧均开设与相互连通的观察槽(25)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻设备,其特征在于:所述螺块(9)的前后两侧均固定连接有滑块(26),所述方槽(6)内壁的前后两侧均开设有与滑块(26)配合使用的滑槽(27),所述滑块(26)与滑槽(27)滑动连接,所述滑槽(27)的长度等于方槽(6)的长度。