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专利号: 2025111936808
申请人: 绍兴鑫艺智能科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2026-04-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,包括加工板(1),其特征在于:还包括夹持装置、防尘装置和锁定装置,所述加工板(1)的顶部固定安装有放置板(2),所述加工板(1)的顶部固定贯穿有线性驱动机构(3),所述线性驱动机构(3)的移动端顶部固定安装有驱动电机(4),所述驱动电机(4)的输出端固定安装有装载板(5),所述装载板(5)远离驱动电机(4)的一端固定贯穿有打磨机构(6),所述加工板(1)的顶部开设有滑槽;

其中,夹持装置包括电动推杆(7)、搭载板(8)、T形杆(9)、一号弹簧(10)、橡胶板(11)、升降板(12)、一号弹片(13)、两个衔接杆(14)、弧形条(15)和支撑杆(16),所述电动推杆(7)固定安装在加工板(1)的顶部,所述搭载板(8)固定安装在电动推杆(7)的输出端,所述T形杆(9)滑动贯穿在搭载板(8)远离电动推杆(7)的一面,所述一号弹簧(10)设置在T形杆(9)与搭载板(8)之间,所述橡胶板(11)固定安装在T形杆(9)远离搭载板(8)的一面,所述升降板(12)滑动贯穿在搭载板(8)的顶部,所述一号弹片(13)设置在升降板(12)与搭载板(8)之间,两个所述衔接杆(14)固定安装在升降板(12)远离电动推杆(7)的一面,所述弧形条(15)设置在衔接杆(14)远离升降板(12)的两端,所述支撑杆(16)固定安装在升降板(12)的底部,所述支撑杆(16)滑动贯穿在搭载板(8)的底部,所述橡胶板(11)远离搭载板(8)的一面开设有波纹一;

所述防尘装置包括移动框(161)、玻璃罩(162)、矩形板(163)、二号弹片(164)、接触板(165)、限位板(166)、圆柱块(167)、弹性片(168)和圆杆(169),所述移动框(161)滑动安装在滑槽的顶部,所述玻璃罩(162)固定安装在移动框(161)的内部,所述矩形板(163)滑动安装在移动框(161)的内壁,所述二号弹片(164)设置在矩形板(163)与移动框(161)之间,所述接触板(165)固定安装在矩形板(163)的底部,所述限位板(166)固定安装在移动框(161)的外壁,所述圆柱块(167)固定安装在矩形板(163)的表面,所述弹性片(168)固定安装在移动框(161)的内壁,所述圆杆(169)固定安装在移动框(161)的内壁;

所述锁定装置包括固定板(171)、移动杆(172)、二号弹簧(173)、活动板(174)、握杆(175)、对接杆(176)、衔接座(177)、转动板(178)和阻挡板(179),所述固定板(171)固定安装在加工板(1)的表面,所述移动杆(172)滑动贯穿在固定板(171)的内部,所述二号弹簧(173)设置在移动杆(172)与固定板(171)之间,所述活动板(174)固定安装在移动杆(172)靠近固定板(171)的一面,所述握杆(175)固定安装在活动板(174)远离加工板(1)的一面,所述对接杆(176)固定安装在活动板(174)远离握杆(175)的一面,所述衔接座(177)固定安装在固定板(171)的顶部,所述转动板(178)转动安装在衔接座(177)的内部,所述阻挡板(179)固定安装在固定板(171)的顶部,所述对接杆(176)远离活动板(174)的一端开设有球面二。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,其特征在于:所述T形杆(9)靠近升降板(12)的一端开设有球面一,所述升降板(12)靠近T形杆(9)的一面开设有斜面一。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,其特征在于:所述弧形条(15)本身具有弹性,所述弧形条(15)靠近橡胶板(11)的一面开设有防滑槽。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,其特征在于:所述弹性片(168)以矩形板(163)为对称轴等距分布在移动框(161)的内壁,所述限位板(166)靠近放置板(2)的一面开设有斜面二,所述限位板(166)远离移动框(161)的一面开设有圆孔。

5.根据权利要求4所述的一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,其特征在于:所述弹性片(168)远离圆杆(169)的一面开设有弧面一,所述弹性片(168)与圆杆(169)的圆周面接触。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,其特征在于:所述转动板(178)与衔接座(177)之间设置有涡卷弹簧,所述转动板(178)远离握杆(175)的一面开设有半圆槽,所述转动板(178)与阻挡板(179)接触。