1.一种晶圆清洗抛光装置，包括两个底座(1)，其特征在于：两个所述底座(1)上均滑动连接有支架(2)，两个所述支架(2)的侧面均转动安装有转轴(3)，两个所述转轴(3)之间固定连接有冲洗面板(4)，所述冲洗面板(4)的底部设置有多个喷头(6)，且冲洗面板(4)的顶部设置有烘干机构(5)，其中一个所述支架(2)上设置有用于带动冲洗面板(4)反正的翻转机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗抛光装置，其特征在于：所述翻转机构(7)包括电机二(71)，所述电机二(71)固定安装于其中一个支架(2)的一侧，所述翻转机构(7)的输出端固定连接有同步轮二(72)，其中一个所述转轴(3)的端部穿过支架(2)固定连接有同步轮三(73)，所述同步轮二(72)和同步轮三(73)的外部共同设置有同步带二(74)，且同步轮二(72)和同步轮三(73)均转动安装于支架(2)的侧面。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗抛光装置，其特征在于：所述烘干机构(5)包括框架(51)，所述框架(51)固定安装于冲洗面板(4)的顶部，且框架(51)的内部固定连接有固定板(52)，所述固定板(52)的顶部转动安装有多个风扇(53)，所述框架(51)的顶部固定安装有加热丝(57)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗抛光装置，其特征在于：所述固定板(52)的底部固定安装有电机一(56)，所述电机一(56)的输出端与其中一个风扇(53)的轴心固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗抛光装置，其特征在于：多个所述风扇(53)的外部均固定套设有同步轮一(54)，多个同步轮一(54)的外部共同设置有同步带一(55)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗抛光装置，其特征在于：其中一个所述底座(1)的一侧固定安装有电机三(8)，所述电机三(8)的输出端固定连接有螺纹杆(9)，所述螺纹杆(9)转动安装于底座(1)上，另一个所述底座(1)上固定安装有滑杆(10)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗抛光装置，其特征在于：其中一个所述支架(2)螺纹连接于螺纹杆(9)外部，另一个所述支架(2)滑动套设于滑杆(10)外部。