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专利号: 202323247019X
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-07-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台,其特征在于,包括:

清洗台(1),所述清洗台(1)的上端固定连接有清洗池(2),所述清洗池(2)的内壁固定连接有超声波清洗模组(3),所述清洗池(2)的内壁固定连接有丝杆电机(4),所述丝杆电机(4)的输出端固定连接有丝杆(5),所述丝杆(5)的外表面活动连接有滑动模块(6),所述滑动模块(6)的下端固定连接有支撑架(7),所述支撑架(7)的内壁固定连接有电动伸缩杆(8),所述电动伸缩杆(8)的输出端通过轴连接有一号转盘(9),所述支撑架(7)的内壁固定连接有电机(10),所述电机(10)的输出端通过轴连接有二号转盘(11);

挡板(12),所述挡板(12)的外表面固定连接有烘干盒(13),所述烘干盒(13)的内壁固定连接有热风机(14),所述烘干盒(13)的内部固定连接有导热条(15)。

2.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台,其特征在于,所述挡板(12)与清洗池(2)相铰接,所述挡板(12)的外表面设置有密封垫。

3.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台,其特征在于,所述清洗池(2)的上端固定连接有盖板,所述盖板的下端与滑动模块(6)相抵接,所述滑动模块(6)的上端为光滑面。

4.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台,其特征在于,所述丝杆(5)的一端活动连接有固定块,所述固定块与清洗池(2)的内壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台,其特征在于,所述烘干盒(13)的上端铰接有盖子。

6.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台,其特征在于,所述导热条(15)的与挡板(12)的内壁固定连接,所述导热条(15)的一端安装在清洗池(2)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台,其特征在于,所述一号转盘(9)和二号转盘(11)的外表面均设置有橡胶垫,且外表面为磨砂面。