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专利号: 2024215224983
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-05-13
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置,其特征在于:包括储存箱(1),所述储存箱(1)的底端紧固连接有多组承重轴(2),所述储存箱(1)的顶端紧固连接有加工箱(3),所述储存箱(1)的内部底端紧固连接有两组限位板(8),两组所述限位板(8)的中间一侧滑动连接有移动块(10),所述移动块(10)的一侧表面固定连接有连接板(20),所述连接板(20)的一端固定连接有清洗板(11),所述储存箱(1)的底端中间穿插连接有伸缩轴(12),所述伸缩轴(12)和储存箱(1)的交接处设置有橡胶密封圈(13),其中一组所述限位板(8)的一侧顶端设置有定时装置(9)。

2.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆清洗的烘干装置,其特征在于:所述伸缩轴(12)的顶端固定连接在清洗板(11)的底端,所述伸缩轴(12)的底端连接有电机(14)。

3.根据权利要求2所述的用于半导体晶圆清洗的烘干装置,其特征在于:所述加工箱(3)的内部两组中间均固定连接有安装盒(4),所述安装盒(4)的内部设置有加热风扇(16)。

4.根据权利要求3所述的用于半导体晶圆清洗的烘干装置,其特征在于:所述加工箱(3)的顶端紧固连接有隔板(5),所述隔板(5)的中间穿插连接有抽风机(6)。

5.根据权利要求4所述的用于半导体晶圆清洗的烘干装置,其特征在于:所述抽风机(6)的顶端固定连接有通风板(17),所述通风板(17)的中间穿插连接有导杆。

6.根据权利要求5所述的用于半导体晶圆清洗的烘干装置,其特征在于:所述导杆的顶端连接有旋转电机(19),所述导杆的底端固定连接有扇叶(18)。

7.根据权利要求4所述的用于半导体晶圆清洗的烘干装置,其特征在于:所述隔板(5)的顶端一侧紧固连接有冷凝器(15),所述隔板(5)的顶端和加工箱(3)的一侧开设有引流槽(7),所述引流槽(7)的一端连通在储存箱(1)的一侧。