1.一种激光剥离碳化硅减薄片的串联抛光装置，包括：罩壳(100)、控制面板(110)以及电机(250)，其特征在于：所述罩壳(100)前端左侧设有控制面板(110)；

所述控制面板(110)右侧设有观察口(120)，所述罩壳(100)左侧内部设有操作腔(130)，所述操作腔(130)下端设有台面(140)，所述台面(140)上端设有旋台(150)，所述旋台(150)内部设有若干组放置座(160)，所述旋台(150)上端中间位置设有旋头(170)，所述放置座(160)内部下端设有真空管(230)，所述真空管(230)下端外侧设有真空泵(240)；

所述旋台(150)前端设有工业相机(180)，所述工业相机(180)下端设有底壳，所述底壳右侧上端设有丝杠一(190)，所述丝杠一(190)左侧设有移动座(200)，所述移动座(200)左侧设有丝杠二(210)，所述丝杠二(210)左侧设有抛光部件(220)，所述旋头(170)下端设有旋轴，所述旋轴下端设有电机(250)。

2.根据权利要求1所述的一种激光剥离碳化硅减薄片的串联抛光装置，其特征在于：所述罩壳(100)与底壳通过螺栓连接固定，所述罩壳(100)前端设有两组侧门，且所述控制面板(110)内嵌安装在左侧侧门，所述观察口内嵌安装在右侧侧门。

3.根据权利要求2所述的一种激光剥离碳化硅减薄片的串联抛光装置，其特征在于：所述底壳内部左侧与电机(250)通过螺栓连接固定，所述电机(250)与旋轴连接，所述旋轴与旋头(170)为一体机构，所述旋头(170)与旋台(150)通过螺栓连接固定。

4.根据权利要求3所述的一种激光剥离碳化硅减薄片的串联抛光装置，其特征在于：所述旋台(150)以旋头(170)横截面圆心为轴进行旋转，所述旋台(150)下端设有若干组内载座，每组所述内载座与一组真空泵(240)连接固定。

5.根据权利要求1所述的一种激光剥离碳化硅减薄片的串联抛光装置，其特征在于：每组所述放置座(160)上端设有一组碳化硅减薄片，所述旋台(150)为步进旋转方式，若干组所述放置座(160)横截面以圆形结构均匀排列。

6.根据权利要求1所述的一种激光剥离碳化硅减薄片的串联抛光装置，其特征在于：所述底壳与丝杠一(190)连接固定，所述丝杠一(190)为前后移动机构，所述丝杠一(190)与移动座(200)活动连接，所述移动座(200)与丝杠二(210)连接固定，所述丝杠二(210)为一种上下移动机构，所述丝杠二(210)与抛光部件(220)连接固定。

7.根据权利要求6所述的一种激光剥离碳化硅减薄片的串联抛光装置，其特征在于：所述抛光部件(220)为一种FD9104PA抛光机，所述抛光部件(220)下端设有两组抛光头，且每组所述抛光头外侧设有一组定位吸盘。