1.一种用于碳化硅晶片的抛光设备，包括抛光机构(1)，抛光机构(1)上安装有配合机构(2)，其特征在于：所述抛光机构(1)包括箱体(101)，箱体(101)上安装有转动方向相同的两个配合齿轮二(208)，两个配合齿轮二(208)分别与凸轮二(209)、凸轮一(210)同轴固定连接，凸轮二(209)、凸轮一(210)上分别设置有一段不完全齿圈，凸轮一(210)上的不完全齿圈与上料齿轮(215)配合，凸轮二(209)上的不完全齿圈与下料齿轮(216)配合，上料齿轮(215)、下料齿轮(216)转动安装在箱体(101)上，上料齿轮(215)、下料齿轮(216)的偏心位置处分别设置有偏心柱一(213)、偏心柱二(218)；偏心柱一(213)与导轨一(212)滑动连接，导轨一(212)上安装有触发杆一(214)，触发杆一(214)滑动安装在箱体(101)上，偏心柱二(218)与导轨二(217)滑动连接，导轨二(217)上安装有触发杆儿(219)，触发杆儿(219)滑动安装在箱体(101)上，凸轮二(209)、凸轮一(210)与滑动架(201)配合且位置对应；箱体(101)上往复滑动安装有滑动架(201)，滑动架(201)上滑动安装有配合滑块(203)，配合滑块(203)上转动安装有吸附组件，触发杆一(214)、触发杆儿(219)分别位于滑动架(201)的两端，触发杆一(214)、触发杆儿(219)与吸附组件配合。

2.如权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于：所述吸附组件包括吸附转轴(205)，吸附转轴(205)与配合滑块(203)转动连接，吸附转轴(205)的两端分别安装有连接盘(224)、方块(220)，滑动架(201)上固定安装有两个弹簧片(221)，两个弹簧片(221)位于方块(220)两侧用于限制方块(220)的位置，所述连接盘(224)上安装有吸附电机(225)，吸附电机(225)的输出轴与压力筒(226)连接。

3.如权利要求2所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于：所述压力筒(226)与吸盘(229)连接，压力筒(226)内滑动安装有活塞杆(228)，活塞杆(228)的第一端与压力筒(226)的内筒壁贴合，活塞杆(228)的第二端安装有圆盘(227)，圆盘(227)与触发杆一(214)配合，圆盘(227)上滑动安装有锁紧滑杆(231)，锁紧滑杆(231)通过锁紧弹簧(230)与圆盘(227)连接，锁紧滑杆(231)上设置有锁紧块(232)，锁紧块(232)上设置有倾斜面，锁紧块(232)与卡杆(234)配合，卡杆(234)固定安装在压力筒(226)上，锁紧滑杆(231)与触发杆儿(219)配合。

4.如权利要求3所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于：所述吸附转轴(205)与吸附齿轮(223)同轴固定连接，箱体(101)上固定安装有两个固定齿条(222)，固定齿条(222)与吸附齿轮(223)配合；初始状态下，两个固定齿条(222)分别位于吸附齿轮(223)的两侧，固定齿条(222)与吸附齿轮(223)位置对应。

5.如权利要求4所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于：所述滑动架(201)的两端分别与一个限位弹簧(211)的第一端连接，限位弹簧(211)的第二端安装在箱体(101)上，滑动架(201)上安装有配合液压缸(202)，配合液压缸(202)与配合滑块(203)位置对应，配合滑块(203)通过配合弹簧(204)与滑动架(201)连接。

6.如权利要求5所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于：所述上料齿轮(215)、下料齿轮(216)分别通过一个扭簧(233)与箱体(101)连接。

7.如权利要求6所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于：两个所述配合齿轮二(208)均与配合齿轮一(207)相互啮合，配合齿轮一(207)与配合电机(206)的输出轴连接。

8.如权利要求7所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于：所述箱体(101)上安装有支撑架(106)，支撑架(106)上安装有抛光电机(108)，抛光电机(108)的输出轴与磨盘(109)连接，磨盘(109)与粗抛盘(104)、精抛盘(103)配合，粗抛盘(104)、精抛盘(103)转动安装在抛光托架(105)上，抛光托架(105)与抛光齿轮(110)固定连接，抛光托架(105)滑动安装在连接平台(119)上，抛光齿轮(110)与抛光齿条(117)配合，抛光齿条(117)与抛光液压缸(118)的活塞杆连接。

9.如权利要求8所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于：所述抛光齿条(117)与连接杆(116)固定连接，连接杆(116)上设置有抛光斜块(114)，抛光斜块(114)上设置有倾斜面，抛光斜块(114)与横柱(113)配合，横柱(113)固定安装在抛光升降杆(112)上，抛光升降杆(112)滑动安装在连接平台(119)上，抛光升降杆(112)与抛光托架(105)位置对应，抛光升降杆(112)与抛光弹簧(111)的第一端连接，抛光弹簧(111)的第二端安装在连接平台(119)上，抛光斜块(114)与限位杆(115)连接，限位杆(115)上设置有直行段和斜行段。