1.一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:包括密封外管道(1),所述密封外管道(1)连通离子束刻蚀机与热压炉,使得离子束刻蚀机与热压炉之间连通;
所述密封外管道(1)内部设有晶圆移动装置(2)和晶圆辅助定位输送装置(3);
所述晶圆移动装置(2)为传送带(4),
所述晶圆辅助定位输送装置(3)包括升降气缸(5)、晶圆取出气缸(6)和晶圆送入气缸(7);
所述升降气缸(5)降低后,所述晶圆取出气缸(6)将含有晶圆的模具从离子束刻蚀机内取出到传送带(4)上,所述升降气缸(5)升起,晶圆通过所述传送带(4)运送到指定位置,所述升降气缸(5)降低,所述晶圆送入气缸(7)将含有晶圆的模具送至热压炉指定位置。
2.根据权利要求1所述一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:所述升降气缸(5)活动设置于密封外管道(1)顶部。
3.根据权利要求1所述一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:所述传送带(4)靠近热压炉一侧设有限位卡块(8)。
4.根据权利要求1所述一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:所述晶圆取出气缸(6)和晶圆送入气缸(7)反向设置于升降气缸(5)底部。
5.根据权利要求1所述一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:所述晶圆取出气缸(6)一端设有取出装置(9)。