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专利号: 2023207553039
申请人: 无锡优微科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2025-01-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种集成电路封装塑封抽风设备,其特征在于,包括:

抽风箱(1)和塑封框(2),为本集成电路封装塑封抽风设备的主体,所述抽风箱(1)和塑封框(2)之间连通有抽风管(8);

燃烧室(3)、泵腔(4)和净化室(5),其分别开设于所述抽风箱(1)的内部,所述净化室(5)的内部填充有净化液,所述净化室(5)的底部呈倾斜设置;

真空泵(10),其安装设置于所述泵腔(4)的内部;

真空管(9)和排气管(11),其分别设置于所述真空泵(10)的两端。

2.根据权利要求1所述的集成电路封装塑封抽风设备,其特征在于,所述净化室(5)还包括:支撑座(12),其固定设置于所述净化室(5)的内部上方;

活性炭干燥剂网盖(13),其转动设置于所述净化室(5)的顶部;

磁块(14),其分别设置于所述支撑座(12)的顶部和所述活性炭干燥剂网盖(13)的底部。

3.根据权利要求1所述的集成电路封装塑封抽风设备,其特征在于,所述塑封框(2)还包括:集成电路(6),其放置于所述塑封框(2)的内部,所述集成电路(6)还位于所述抽风管(8)的一侧下方。

4.根据权利要求1所述的集成电路封装塑封抽风设备,其特征在于,所述燃烧室(3)还包括:燃烧器(7),其设置于所述燃烧室(3)的内部上方,所述燃烧器(7)还位于所述抽风管(8)的一侧上方。

5.根据权利要求1所述的集成电路封装塑封抽风设备,其特征在于,所述抽风管(8)、真空管(9)和排气管(11)的内部均设置有单向阀,所述抽风管(8)、真空管(9)和排气管(11)的孔径一致,所述真空管(9)远离真空泵(10)的一端贯穿至所述燃烧室(3)的内部,所述排气管(11)远离真空泵(10)的一端呈盘旋状设置并贯穿至所述净化室(5)的内部。

6.根据权利要求2所述的集成电路封装塑封抽风设备,其特征在于,所述活性炭干燥剂网盖(13)的底部四周与所述支撑座(12)相贴合,所述支撑座(12)顶部的磁块(14)与所述活性炭干燥剂网盖(13)底部的磁块(14)相对应。