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专利号: 2022102277032
申请人: 成辉辉
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 清洁
更新日期:2025-04-21
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构,其特征在于,包括:安装机构(1);

所述安装机构(1)为光刻胶收集杯本体,且安装机构(1)包括有:主体(101),主体(101)为圆柱形结构,主体(101)顶部为圆台形结构,且主体(101)内部为空心状结构;搅拌件(104),搅拌件(104)为圆柱形结构,搅拌件(104)底部侧边设有矩形凸起,且搅拌件(104)上的矩形凸起侧边为楔形结构,并且搅拌件(104)安装在主体(101)内部底端;清理机构(2),所述清理机构(2)包括有:顶件(201),顶件(201)为弧形结构,顶件(201)上设有圆孔,且顶件(201)安装在主体(101)顶部;旋转机构(3),所述旋转机构(3)包括有:旋转件(301),旋转件(301)为圆柱形结构,旋转件(301)上设有圆孔,旋转件(301)上设有内槽,且旋转件(301)安装在搅拌件(104)顶部;防护机构(4),所述旋转机构(3)顶部安装有防护机构(4);调节机构(5),所述旋转机构(3)上安装有调节机构(5),且调节机构(5)与防护机构(4)相连接;固定机构(6),所述调节机构(5)上安装有固定机构(6),且固定机构(6)与旋转机构(3)相连接;

所述安装机构(1)还包括:

支撑架(102),支撑架(102)为圆柱形结构,支撑架(102)底部设有支撑脚,且支撑架(102)安装在主体(101)底部;底件(103),底件(103)为圆柱形结构,底件(103)上安装有电机,且底件(103)安装在支撑架(102)底部,并且底件(103)上的电机与搅拌件(104)相连接;

所述清理机构(2)还包括:

导杆(202),导杆(202)为侧边凸起的圆柱形结构,导杆(202)安装在顶件(201)上的圆孔内部,且导杆(202)上的凸起通过弹簧与顶件(201)侧边相连接;接触件(203),接触件(203)为楔形结构,且接触件(203)安装在导杆(202)侧边;

所述旋转机构(3)还包括:

稳定杆(302),稳定杆(302)为圆柱形结构,且稳定杆(302)安装在旋转件(301)顶部两侧;卡槽(303),卡槽(303)为矩形结构,且卡槽(303)开设在旋转件(301)内部;转动件(304),转动件(304)为圆柱形结构,转动件(304)上安装有齿轮,且转动件(304)安装在旋转件(301)上的内槽内部;

所述防护机构(4)包括:

承载件(401),承载件(401)为圆柱形结构,承载件(401)上设有圆孔,且承载件(401)上的圆孔内部安装有稳定杆(302);移动槽(402),移动槽(402)为矩形结构,且移动槽(402)开设在承载件(401)内部;

所述防护机构(4)还包括:

安装杆(403),安装杆(403)为圆柱形结构,安装杆(403)上设有螺纹,安装杆(403)上安装有锥齿轮,且安装杆(403)安装在移动槽(402)内部;防护件(404),防护件(404)为弧形结构,防护件(404)底部设有矩形凸起,防护件(404)上的矩形凸起上设有螺纹孔,且防护件(404)通过底部矩形凸起安装在移动槽(402)内部,并且防护件(404)上矩形凸起的螺纹孔内部安装有安装杆(403);

所述调节机构(5)包括:

调节件(501),调节件(501)为顶部凸起的圆柱形结构,调节件(501)底部安装有齿轮,调节件(501)上安装有锥齿轮,调节件(501)上安装有把手,调节件(501)上设有矩形槽,调节件(501)安装在旋转件(301)上的圆孔内部,调节件(501)安装在承载件(401)上的圆孔内部,调节件(501)底部的齿轮与转动件(304)上的齿轮相啮合,且调节件(501)上的锥齿轮与安装杆(403)上的锥齿轮相啮合;

所述调节机构(5)还包括:

卡位件(502),卡位件(502)为楔形结构,卡位件(502)侧边为弧形结构,且卡位件(502)通过弹簧安装在调节件(501)上的矩形槽内部,并且卡位件(502)安装在卡槽(303)内部;凸轮(503),凸轮(503)安装在调节件(501)顶部;

所述固定机构(6)包括:

固定件(601),固定件(601)为矩形结构,固定件(601)上设有圆孔,且固定件(601)上的圆孔内部安装有调节件(501);滑槽(602),滑槽(602)为矩形结构,且滑槽(602)开设在固定件(601)内部顶端,并且滑槽(602)内部安装有凸轮(503);

所述固定机构(6)还包括:

滑杆(603),滑杆(603)为圆柱形结构,且滑杆(603)安装在滑槽(602)内部;夹持件(604),夹持件(604)为弧形结构,夹持件(604)顶部设有弧形凸起,夹持件(604)安装在滑槽(602)内部,夹持件(604)上的圆孔内部安装有滑杆(603),且夹持件(604)之间通过滑杆(603)上的弹簧相连接,并且夹持件(604)侧边与凸轮(503)相接触。