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专利号: 2022100910675
申请人: 陕西理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-04-03
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种纳米氮化硅晶须的制备方法,由以下步骤组成:

选用平均粒度为3.5μm的高炉矿渣微粉,先用超声和干燥法进行净化处理,然后用氢氧化钠和氢氧化铝摩尔比为2.9:2.2的3.5mol/L混合液进行活化处理,得到活化高炉矿渣微粉;

将所述活化高炉矿渣微粉以6.7g/s的速度投入旋风筒,用温度为20℃的空气/氟化氢混合气将投料口的活化高炉矿渣微粉吹进悬浮预热系统,再将温度为330℃的预热空气切向吹入旋风筒,得到四氟化硅气体;所述空气/氟化氢混合气的分压比为4.9:1,风速46m/s;

所述预热空气的风速53m/s;

将所述四氟化硅气体与氨气的混合气体通入循环加热装置,混合气体每个循环周期在反应区的停留时间为1.6s,循环加热温度和次数分别循环加热温度和次数分别540℃和9次,最后将反应产物通入冷凝回收装置中完成固体产物收集和气体回收,得到纳米氮化硅晶须;所述四氟化硅气体与氨气的摩尔比为3:4.7;

所述纳米氮化硅晶须的直径为49nm,长度为14.1μm,纯度为99.4%。