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专利号: 2022100910675
申请人: 陕西理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-04-03
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种纳米氮化硅晶须的制备方法,包括以下步骤:将四氟化硅气体与氨气进行复分解反应,得到纳米氮化硅晶须;

所述反应的温度为490℃~670℃。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述四氟化硅气体与氨气的摩尔比为

3:(4.3~5.7)。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述复分解反应为循环反应。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述四氟化硅气体与氨气每个循环周期内反应的时间为1.2~1.8s。

5.根据权利要求3或4所述的制备方法,其特征在于,所述四氟化硅气体与氨气的总循3

环速度为0.08~0.12m/s,循环次数为6~11次。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述四氟化硅气体的制备方法包括以下步骤:

(1)对高炉矿渣微粉进行活化处理,得到活化高炉矿渣微粉;

(2)将所述活化高炉矿渣微粉在悬浮预热系统中进行酸雾腐蚀处理,得到四氟化硅气体。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述活化高炉矿渣微粉进入所述悬浮预热系统的流量为4.9~8.3g/s。

8.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述酸雾包括空气和氟化氢,所述空气与氟化氢的分压比为(4.6~5.8):1。

9.根据权利要求6或8所述的制备方法,其特征在于,所述酸雾的风速为36~52m/s。

10.权利要求1~9任一项所述制备方法制备得到的纳米氮化硅晶须。