1.一种纳米氮化硅晶须的制备方法,包括以下步骤:将四氟化硅气体与氨气进行复分解反应,得到纳米氮化硅晶须;
所述反应的温度为490℃~670℃。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述四氟化硅气体与氨气的摩尔比为
3:(4.3~5.7)。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述复分解反应为循环反应。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述四氟化硅气体与氨气每个循环周期内反应的时间为1.2~1.8s。
5.根据权利要求3或4所述的制备方法,其特征在于,所述四氟化硅气体与氨气的总循3
环速度为0.08~0.12m/s,循环次数为6~11次。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述四氟化硅气体的制备方法包括以下步骤:
(1)对高炉矿渣微粉进行活化处理,得到活化高炉矿渣微粉;
(2)将所述活化高炉矿渣微粉在悬浮预热系统中进行酸雾腐蚀处理,得到四氟化硅气体。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述活化高炉矿渣微粉进入所述悬浮预热系统的流量为4.9~8.3g/s。
8.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述酸雾包括空气和氟化氢,所述空气与氟化氢的分压比为(4.6~5.8):1。
9.根据权利要求6或8所述的制备方法,其特征在于,所述酸雾的风速为36~52m/s。
10.权利要求1~9任一项所述制备方法制备得到的纳米氮化硅晶须。