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专利号: 2016112021313
申请人: 天津理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 超微技术〔7〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种横向生长非晶硅纳米线的制备方法,其特征在于包括如下步骤;

1)把衬底用浓度为0.1-0.3mol/L的氢氧化钠溶液在100-300℃刻蚀,然后将衬底依次用超纯水、乙醇、丙酮、超纯水分别超声清洗15min;

2)将上述经过刻蚀的衬底作为基底,采用射频磁控溅射法在衬底上沉积镍膜,作为硅纳米线生长所需要的催化剂;

3)将上述沉积有镍膜的衬底放入带凹槽的样品靶台上,采用直流喷射CVD法制备横向生长非晶硅纳米线。

2.根据权利要求1所述横向生长非晶硅纳米线的制备方法,其特征在于:所述步骤1)中衬底为硅片、钽片、钼片或钛片。

3.根据权利要求1所述横向生长非晶硅纳米线的制备方法,其特征在于:所述步骤2)中溅射过程工艺参数为;采用纯度为99.99%的镍靶材,真空度不大于1×10-4 Pa ,溅射功率为100-150 W ,Ar气流量为10sccm,溅射压强为0.5-1.5Pa,靶基距为5-8cm,衬底不加热,沉积时间为30-60s。

4.根据权利要求1所述横向生长非晶硅纳米线的制备方法,其特征在于:所述步骤3)中直流喷射CVD法工艺参数为;氢气流量为1-2L/min,氩气流量为1-2L/min,腔压为3000-

5000Pa,泵压为9000-13000Pa,弧电压为110-120V,弧电流为80-100A,温度范围为850-1000℃,反应时间为10-30min。

5.一种权利要求1所制备的横向生长非晶硅纳米线的应用,其特征在于:用于纳米电子器件和超级电容器。