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专利号: 2022100419804
申请人: 深圳特斯特半导体设备有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
更新日期:2025-05-13
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.划片机刀片主轴结构,其特征在于:包括壳体;

转轴,转动连接在所述壳体内,所述壳体的前端设置有套接在转轴外的角接触球轴承,所述转轴能沿其轴向前后移动;

排气挤压装置,包括固定在所述壳体前端的前壳,所述转轴的一端延伸出前壳,所述转轴位于前壳内的部分沿周向设置有凸环,所述凸环的前端与前壳的前壁间留有气压腔,所述气压腔通过前壳上的进气通道与壳体上的进气孔连通,所述凸环在气压腔内的气体压力推动下移动以压紧角接触球轴承,且所述气压腔内的气体能从转轴与前壳间的第一间隙和凸环与前壳间的第二间隙溢出前壳。

2.根据权利要求1所述的划片机刀片主轴结构,其特征在于:所述前壳上开设有仅供转轴伸出的第一通孔,所述通孔和转轴的外壁之间限定形成环形的第一间隙;所述前壳内开设有供凸环转动和沿轴向移动的腔体,所述腔体的内壁和凸环的外壁间限定形成环形的第二间隙。

3.根据权利要求1所述的划片机刀片主轴结构,其特征在于:所述前壳上开设有与第二间隙导通的出气孔,所述出气孔的开设在对准凸环的位置。

4.根据权利要求3所述的划片机刀片主轴结构,其特征在于:所述凸环还开沿其周向上设有与出气口位置对应环槽。

5.根据权利要求1所述的划片机刀片主轴结构,其特征在于:所述进气通道包括沿转轴轴向设置的水平段和垂直轴向设置的竖直段,所述水平段的一端与进气孔连通,另一端与竖直段连通,所述竖直段位于气压腔远离凸环的一端并与气压腔导通。

6.根据权利要求2所述的划片机刀片主轴结构,其特征在于:所述前壳包括第一立板和位于第一立板和壳体之间的第二立板,所述通孔开设在第一立板上,且所述通孔的直径大于转轴直径小于凸环的外径;所述第二立板上开设有与通孔同轴设置且直径大于凸环外径的第二通孔,所述第二通孔和第一立板之间限定形成圆柱形的腔体。

7.根据权利要求6所述的划片机刀片主轴结构,其特征在于:所述第一立板和第二立板之间、第二底板和壳体之间均设置有密封两者连接处的密封圈。

8.根据权利要求1所述的划片机刀片主轴结构,其特征在于:所述转轴的另一端套接有位于壳体内的辅助转动组件,所述辅助转动组件包括套接在转轴外与其同步前后移动的辅助架,所述辅助架和转轴之间设置有辅助球轴承。

9.根据权利要求1‑8任一所述的划片机刀片主轴结构,其特征在于:所述壳体上沿轴向开设有若干相互连通的冷却通道,所述壳体远离排气挤压装置的一端设置有与一个冷却通道导通的进水口和与另一个冷却通道导通的出水口。