1.一种晶圆切割进料装置,包括驱动电机(1),所述驱动电机(1)的一侧安装有导轨(2),所述导轨(2)的外表面套接有滑块(3),所述滑块(3)的底端安装有气缸(4),所述气缸(4)的底端设置有安装柱(7),所述安装柱(7)的底端设置有吸盘(5),其特征在于:所述吸盘(5)的顶端固定连接有吸盘连接套(6),所述安装柱(7)的底端延伸至吸盘连接套(6)的内部,所述吸盘连接套(6)卡合套接在安装柱(7)的外表面。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割进料装置,其特征在于:所述安装柱(7)的两侧均开设有安装槽,所述安装槽的内部设置有固定板(12),所述固定板(12)的一侧顶端固定连接有按压块(11),所述固定板(12)的一侧底端固定连接有卡块(13),所述固定板(12)的另一侧固定连接有两个复位弹簧(14),所述吸盘连接套(6)的内壁两侧均开设有能够卡合卡块(13)的限位槽。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割进料装置,其特征在于:两个所述复位弹簧(14)的中间均贯穿设有限位柱(15),所述限位柱(15)的一端贯穿固定板(12)并延伸至外部,所述限位柱(15)的一端固定连接有限位块(16)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割进料装置,其特征在于:所述吸盘(5)的外表面套设有推板(8),所述推板(8)相对于吸盘(5)能够进行上下活动。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割进料装置,其特征在于:所述推板(8)的上表面两侧均固定连接有移动套筒(9),所述移动套筒(9)的顶端固定连接有螺纹套(19),所述移动套筒(9)的顶端设有丝杆(18),所述丝杆(18)的底端延伸至移动套筒(9)的内部,所述丝杆(18)的顶端设置有固定电机(17),所述固定电机(17)通过设有的固定外壳(10)安装在气缸(4)的底端两侧位置处,所述固定电机(17)的输出轴驱动丝杆(18)进行转动。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆切割进料装置,其特征在于:所述丝杆(18)的底端固定安装有限位部(20),所述限位部(20)处于移动套筒(9)的内部,所述螺纹套(19)的内壁半径小于限位部(20)的外壁半径。