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专利号: 2021113401467
申请人: 孔令忠
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 加工水泥、黏土或石料
更新日期:2024-01-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆切割装夹设备,包括底盘(11),其特征在于,所述底盘(11)上固设有环形槽(12),所述底盘(11)上表面中心处固设有第一伸缩套(13),所述环形槽(12)内滑动设有滑动杆(14),所述滑动杆(14)上端固设有吸附模块壳体(15),所述吸附模块壳体(15)上方盖有吸附模块盖板(25),所述吸附模块盖板(25)上开有吸附孔(24),所述第一伸缩套(13)内滑动设有第一伸缩杆(16),所述第一伸缩杆(16)上端固设有转动球(17),所述转动球(17)上固定连接有第二伸缩套(18),所述第二伸缩套(18)内滑动设有第二伸缩杆(19),所述第二伸缩杆(19)远离转动球(17)一端固设有电机(31),所述电机(31)圆柱面固设有固定环(20),所述固定环(20)远离第二伸缩杆(19)一侧转动设有滑动壳体(21),所述滑动壳体(21)内滑动设有夹持杆(22),所述夹持杆(22)之间夹持有晶圆(23),所述固定环(20)内设有动力模块(27),所述滑动壳体(21)内设有倒角驱动模块(28),所述夹持杆(22)内设有倒圆角模块(26),所述环形槽(12)和滑动杆(14)之间设有动力转换模块(29),所述吸附模块壳体(15)内设有吸附模块(30)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装夹设备,其特征在于,所述动力模块(27)包括从电机(31)上伸出的电机转动轴(32),所述电机转动轴(32)靠近电机(31)一侧的圆柱面上固设有第一锥齿轮(33),所述电机转动轴(32)远离第一锥齿轮(33)一侧的圆柱面外套有转动套(36),所述转动套(36)上固设有第三锥齿轮(37),所述第一锥齿轮(33)和第三锥齿轮(37)之间设有固连于固定环(20)上的固定杆(34),所述固定杆(34)另一端转动设有第二锥齿轮(35),所述第二锥齿轮(35)与第一锥齿轮(33)和第三锥齿轮(37)啮合传动,所述转动套(36)远离第一锥齿轮(33)一侧固设有固定连接杆(38),所述固定连接杆(38)另一端固连于滑动壳体(21)上,所述滑动壳体(21)上固设有固定板(47),所述夹持杆(22)和固定板(47)之间设有第二弹簧(48)和电磁滑块(49)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割装夹设备,其特征在于,所述倒圆角模块(26)包括固连于电机转动轴(32)上的连接板(67),所述连接板(67)两端固连有连接管(46),所述连接管(46)另一端接入活塞缸(50)内,所述活塞缸(50)内滑动设有活塞缸(51),所述活塞缸(51)上固设有伸出活塞缸(50)的活塞杆(52),所述活塞杆(52)另一端固连有倒角刀(53)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割装夹设备,其特征在于,所述倒角驱动模块(28)包括固连于连接板(67)上的滑动板(44),所述滑动板(44)远离电机转动轴(32)一端通入连接管(46),所述倒角驱动壳体(41)内滑动设有滑动板(44),所述滑动板(44)和倒角驱动壳体(41)之间设有第一弹簧(45),所述倒角驱动壳体(41)靠近电机转动轴(32)一侧转动设有第一涡扇(43),所述第一涡扇(43)靠近电机转动轴(32)一端固连有第一涡扇转动轴(42),所述第一涡扇转动轴(42)另一端固连有第五锥齿轮(40),所述转动套(36)远离第一锥齿轮(33)一端固设有第四锥齿轮(39),所述第四锥齿轮(39)与第五锥齿轮(40)啮合传动。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割装夹设备,其特征在于,所述动力转换模块(29)包括在环形槽(12)内开的槽,所述槽内固设有内齿圈(55),所述滑动杆(14)底部转动设有第一齿轮(56),所述第一齿轮(56)与内齿圈(55)啮合相连,所述滑动杆(14)中间转动设有第二涡扇转动轴(54),所述第二涡扇转动轴(54)上端转动伸入吸附模块壳体(15)内,所述第二涡扇转动轴(54)下端固设有外齿圈(57),所述外齿圈(57)与第一齿轮(56)啮合相连。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切割装夹设备,其特征在于,所述吸附模块(30)包括固连于第二涡扇转动轴(54)上端第二涡扇(58),所述吸附孔(24)内滑动设有滑动块(59),所述滑动块(59)上方的吸附孔(24)内滑动设有吸盘(60),所述滑动块(59)下侧的吸附模块盖板(25)下表面固设有弹簧台(65),所述弹簧台(65)和滑动块(59)之间设有第四弹簧(66),所述滑动块(59)上端固设有拨杆(61),所述拨杆(61)一侧的吸附模块盖板(25)上固设有固定台(62),所述固定台(62)上滑动设有斜滑块(63),所述斜滑块(63)和吸附模块盖板(25)之间设有第三弹簧(64)相连,所述斜滑块(63)上侧设有固连于吸盘(60)上的顶杆(68)。