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专利号: 2021221365082
申请人: 苏州咏昕恒能源科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2025-04-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构,包括第一净化器(1),其特征在于,所述第一净化器(1)一侧设置有温控组件(2),且温控组件(2)包括设置于第一净化器(1)一侧的加热箱(21)、通过导线连接于加热箱(21)一端外壁上分控开关(22)、通过导线连接于分控开关(22)一侧外壁上的等距离分布的加热器(23);

所述第一净化器(1)一端设置有干燥箱(3),且干燥箱(3)内壁设置有干燥组件(4),所述干燥组件(4)包括设置于干燥箱(3)内壁上的对称分布的海绵(41)、设置于两个海绵(41)之间的氯化钙干燥剂(42)、设置于氯化钙干燥剂(42)一端的活性炭(43)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构,其特征在于,所述干燥箱(3)内壁安装有对称分布的安装架(5),且氯化钙干燥剂(42)和活性炭(43)均设置于安装架(5)的内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构,其特征在于,所述第一净化器(1)顶部外壁连接有连接管(6),且连接管(6)一端外壁连接有第二净化器(7),第二净化器(7)通过连接管(6)连接有第三净化器(8)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构,其特征在于,所述第一净化器(1)、第二净化器(7)和第三净化器(8)一侧外壁均安装有安装箱(9),且加热器(23)安装在安装箱(9)的内壁上,第一净化器(1)、第二净化器(7)和第三净化器(8)顶部外壁均安装有温度传感器(10)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构,其特征在于,所述第一净化器(1)底部外壁连接有进气管(11),且第一进气管(11)一端外壁安装有第一接口(12)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构,其特征在于,所述干燥箱(3)一端外壁连接有出气管(13),且出气管(13)一端外壁安装有第二接口(14)。