1.一种半导体含氦废气收集用净化装置，箱体(1)、隔板(2)、支撑板(3)、安装板(4)、干燥板(5)、第一过滤机构、第二过滤机构、清洁机构，其特征在于，所述隔板(2)、支撑板(3)、安装板(4)、干燥板(5)在箱体(1)内部从下到上依次设置，且隔板(2)、支撑板(3)、安装板(4)、将箱体内部从上到下依次分为第一过滤腔(6)、第二过滤腔(7)、水洗腔(8)，所述水洗腔(8)中盛放有有机溶剂，且水洗腔(8)设置有贯穿箱体(1)的排液管，所述箱体(1)一侧外壁设置有进气管，且箱体(1)顶部设置有出气管，排液管、进气管、出气管均设置有控制阀。

2.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述第一过滤机构包括滑动插接于第一过滤腔(6)内壁的安装架(9)、开设于安装架(9)外壁的安装槽、安装于安装槽内壁的过滤网(10),第一过滤腔(6)顶部内壁一侧设置有通入第二过滤腔(7)内部的连接孔。

3.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述第二过滤机构包括焊接于第二过滤腔(7)底部与顶部内壁的电极板(11)、设置于第二过滤腔(7)靠近进气管一侧外壁的通入水洗腔(8)的连接管(12)、安装于连接管(12)外壁的抽气泵(13)、设置于连接管(12)末端的单向进气阀，所述电极板(11)分为阴极板与阳极板，且阴极板与阳极板分别位于第二过滤腔(7)底部与顶部内壁。

4.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述水洗腔(8)顶部设置有等距离分布的贯穿安装板(4)的透气孔，且干燥板(5)开设有干燥槽，干燥槽内壁滑动连接有干燥网箱(14)，干燥网箱(14)内部填充有硅胶干燥剂。

5.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述清洁机构包括安装于第二过滤腔(7)靠近连接孔一侧内壁的电动伸缩杆(15)、焊接于电动伸缩杆(15)末端的安装块、焊接于安装块顶部与底部外壁的清洁架(16)、粘接于清洁架(16)外壁的清洁垫(17)，清洁垫(17)尺寸与电极板(11)尺寸相适配。

6.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述箱体(1)外壁上方与下方均铰接有箱门，且箱门分别与第一过滤腔(6)、第二过滤腔(7)、干燥板(5)相适配，箱门内壁设置有与箱体(1)相适配的密封垫。