1.一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备，包括箱体(1)、箱门(2)、隔板(3)、过滤机构、水洗机构、除尘机构、收集机构，其特征在于，所述隔板(3)焊接于箱体(1)内壁，且隔板(3)将箱体(1)内部从左到右依次分隔为过滤腔(4)、水洗腔(5)、第一除尘腔(6)、第二除尘腔(7)，水洗腔(5)内部盛放有有机溶液，所述箱门(2)与箱体(1)铰接，且箱门(2)内壁设置有密封垫，箱门(2)分别与过滤腔(4)、水洗腔(5)、第一除尘腔(6)、第二除尘腔(7)相适配，所述箱体(1)靠近过滤腔(4)一侧外壁设置有进气管，且收集机构焊接于箱体(1)远离进气管一侧外壁。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备，其特征在于，所述过滤机构包括滑动插接于过滤腔(4)内壁的安装板(8)、开设于安装板(8)顶部外壁两侧的安装槽、滑动插接于安装槽内壁的过滤网(9)、设置于过滤腔(4)靠近水洗腔(5)一侧内壁的通入水洗腔(5)的连接管、安装于连接管外壁的单向进气阀。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备，其特征在于，所述水洗机构包括滑动插接于水洗腔(5)内壁的连接板(10)、焊接于连接板(10)底部外壁的连接杆(11)、焊接于连接杆(11)末端的收集槽(12)，收集槽(12)与水洗腔(5)内壁滑动连接，水洗腔(5)靠近第一除尘腔(6)一侧内壁顶部设置有通入第一除尘腔(6)内部的连接孔，所述水洗腔(5)两侧内壁均设置有滑槽，且滑槽为“7”字形。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备，其特征在于，所述除尘机构包括滑动插接于第一除尘腔(6)内壁顶部的干燥板(13)、开设于干燥板(13)外壁的干燥槽、滑动安装于干燥槽内壁的干燥网箱(14)、开设于第一除尘腔(6)两侧内壁的凹槽、安装于凹槽内壁的电极板(15)、滑动插接于第一除尘腔(6)底部内壁的集尘盒(16)，所述电极板(15)分为阴极板与阳极板，且阴极板与阳极板分别位于第一除尘腔(6)内壁两侧。

5.根据权利要求1所述的一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备，其特征在于，所述第二除尘腔(7)内壁中间位置滑动插接有挡板，且挡板下方填充有活性炭，第二除尘腔(7)靠近第一除尘腔(6)一侧内壁底部设置有通入第一除尘腔(6)的输气管，输气管位于集尘盒(16)上方。

6.根据权利要求1所述的一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备，其特征在于，所述收集机构包括焊接于箱体(1)靠近第二除尘腔(7)一侧外壁的收集箱(17)、设置于收集箱(17)内壁的压力传感器(18)、安装于收集箱(17)顶部外壁的显示器(19)，所述收集箱(17)靠近箱体(1)一侧外壁设置有通入第二除尘腔(7)的收集管，且收集管外壁安装有抽气泵与单向进气阀，所述压力传感器(18)通过导线连接有控制器，且控制器通过导线与显示器(19)连接。