1.基于TSV的非对称串列形交叉耦合滤波器，其特征在于：包括沿水平方向平行设置的上层RDL和下层RDL，上层RDL与下层RDL之间设有硅基衬底，硅基衬底上分布有六个由TSV构成的谐振腔，六个谐振腔分别与上层RDL和下层RDL配合形成正耦合与负耦合结合的交叉耦合。

2.根据权利要求1所述的基于TSV的非对称串列形交叉耦合滤波器，其特征在于：六个所述谐振腔分别为：第一谐振腔、第二谐振腔、第三谐振腔、第四谐振腔、第五谐振腔及第六谐振腔；

第一谐振腔分别与第二谐振腔和第四谐振腔相邻，第四谐振腔分别与第一谐振腔和第五谐振腔相邻。

3.根据权利要求2所述的基于TSV的非对称串列形交叉耦合滤波器，其特征在于：所述交叉耦合结构的实现方式为：第一谐振腔与第四谐振腔之间采用电容负耦合结构；第一谐振腔与第二谐振腔之间、第二谐振腔与第三谐振腔之间、第三谐振腔与第四谐振腔之间、第四谐振腔与第五谐振腔之间、第五谐振腔与第六谐振腔之间均通过开窗的方式实现电感正耦合。

4.根据权利要求3所述的基于TSV的非对称串列形交叉耦合滤波器，其特征在于：所述第一谐振腔与第二谐振腔之间开设有窗口A、第二谐振腔与第三谐振腔之间开始有窗口B、第三谐振腔与第四谐振腔之间开设有窗口C、第四谐振腔与第五谐振腔之间开设有窗口D、第五谐振腔与第六谐振腔之间开设有窗口E。

5.根据权利要求4所述的基于TSV的非对称串列形交叉耦合滤波器，其特征在于：所述第一谐振腔与第二谐振腔之间完全贯通，所述窗口A为第一谐振腔与第二谐振腔之间的公共侧边。

6.根据权利要求4所述的基于TSV的非对称串列形交叉耦合滤波器，其特征在于：所述上层RDL上开设有S型缺口槽a；所述下层RDL上开设有S型缺口槽b，S型缺口槽a和S型缺口槽b的位置对应且二者的方向恰好相反，S型缺口槽a和S型缺口槽b恰好位于第一谐振腔和第四谐振腔的公共侧边上。