1.一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，所述透明薄膜晶体管的制备步骤如下：（1）将六水合硝酸锌、六水合硝酸镍加入去离子水中，以200 300r/min搅拌6 8h，然后~ ~加入氨基酸，继续搅拌20 40min，得到前驱体溶液；所述氨基酸为L‑组氨酸或L‑半胱氨酸中~的一种；

（2）在高掺杂硅片上设置二氧化硅绝缘层，作为喷雾沉积的接收衬底，并将衬底缓慢加热至300℃；

（3）将前驱体溶液进行超声雾化，然后由载气输送雾状液滴，并在高压静电场下喷涂于已加热的衬底上，在300℃下保温20 30min，在衬底的绝缘层上制得氧化锌/氧化镍复合薄~膜；

（4）通过真空镀膜机在氧化锌/氧化镍复合薄膜的沟道两侧沉积Al电极，作为源极和漏极，制得氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管。

2.根据权利要求1所述一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，六水合硝酸锌、六水合硝酸镍、去离子水、氨基酸的质量比为3 5：3 5：100：0.06~ ~

0.1。

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3.根据权利要求1所述一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，所述衬底缓慢加热的升温速度为15 20℃/min。

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4.根据权利要求1所述一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，所述超声雾化的超声功率为10 20W，超声频率为1.7MHz，喷头雾化液滴的流量~为6 8mL/h。

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5.根据权利要求1所述一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，所述载气的流量为200 300mL/min。

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6.根据权利要求1所述一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，所述高压静电场的静电压为15 18kV。

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7.根据权利要求1所述一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，所述喷涂的时间为15 20min。

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8.根据权利要求1所述一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，所述喷涂的接收距离为8 10cm。

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9.权利要求1 8任一项所述制备方法制备得到的一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管。

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