1.一种镍锌氧化合物光电薄膜，其特征在于：其制备方法包括以下步骤：

1）将Ni基体用丙酮进行超声清洗，将预处理好的基体放入等离子溅射炉体内的载物台上，并用保温套罩住，样品上方的锌为源极靶材；

2）基片表面形成一层等离子辉光放电区，同时靶材表面也形成一层等离子辉光放电区，由两层等离子辉光放电区交叠增强成膜效率；

3）打开等离子溅射成膜设备以及与其配套的冷水泵，使用机械泵将镀膜炉体气压抽至‑4

2‑5Pa，再使用分子泵将炉体气压进一步抽至(3‑6)×10 Pa，使炉内保持高真空状态；

4）将炉内充入氩气，再重新抽到极限真空度，以排出炉内的空气；

5）向炉体充入一定比例的氩气和氧气，打开工件电源并施加电压，对试样进行预轰击，一方面对试样进行清洗，另一方面活化表面以便于活性原子的吸附；

6）预轰击之后调节工作气压和源极电压，使工件和源极达到工作温度，稳定各工艺参数并开始保温镀膜；

‑4

7）依次关闭源极电源、阴极电源和气源，然后将真空炉内抽至（2‑5）×10 Pa真空度，冷却到室温出炉取出，即得到C‑Ni共渗入ZnxOy薄膜中形成多元素复合合金层；

步骤5)中，向炉体充入氩气和氧气体积比为5:1‑9:1，使得炉体气压达到5Pa，打开工件电源并施加300‑350V电压，对试样进行10分钟预轰击；

步骤6)中，预轰击之后调至300‑350V工作气压，将源极电压调整到试验值800‑950V，使工件和源极达到工作温度500‑650℃，稳定各工艺参数并开始保温10min镀膜；

步骤1)中，样品与靶材之间的极间距保持在18‑22mm；

步骤4)中，将炉内充入氩气至15‑25Pa，重新抽到极限真空度，如此往复2‑3次，以尽可能排出炉内的空气；

C‑Ni共渗入ZnxOy薄膜中形成多元素复合合金层中，所有元素的质量百分比随氩氧比变化均较为明显，材料表层中Zn的质量百分含量为0.22%‑26.98%，O的质量百分含量为

10.27%‑30.74%，C的质量百分比含量为14.19%‑21.51%，Ni的质量百分比含量为25.21%‑

67.49%，Zn、O、C和Ni的质量百分比变化区间在0.1‑0.5之间。