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专利号: 2020111137751
申请人: 左海珍
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-05-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多孔铜基晶须材料的制备方法,其特征在于包括如下处理步骤:(1)制备Cu‑Al合金块体:(a)将30wt.% 2‑3μm铜粉、60wt.% 7‑8μm铝粉物理均匀混合;o

(b)300Mpa 压制成型;(c)惰性气氛或还原气氛下高温烧结,烧结温度800C,高温持续时间

1h,自然冷却,其中所述压制成型的保压时间5min;所述惰性气氛为N2,所述还原气氛为H2;

o

所述高温烧结的程序升温速率10C/min;

(2)通过化学碱液腐蚀初步去合金化:所使用的腐蚀液为1M NaOH水溶液,腐蚀时间

12h,温度为30℃,腐蚀过程中辅助超声除去气泡,腐蚀后多次去离子水洗涤;

(3)通过电化学酸液腐蚀深度去合金化:以步骤(2)获得的铜材为阳极,Pt片为阴极,以

0.6M HNO3为电解液,腐蚀电压为0.3V,腐蚀时间2h,电化学腐蚀温度为常温;

(4)干燥,还原:干燥过程为使用乙醇‑去离子水多次交替洗涤除去腐蚀液,真空干燥;

还原为在5vol.%H2/N2下,于管式炉中还原处理60min;

(5)并以上述步骤(4)获得的多孔铜为衬底,进行脉冲激光烧灼硫化钨:步骤(4)获得的多孔铜为衬底置于真空室,使用Nd:YAG激光,使激光光束经过全反射镜和聚焦透镜后聚焦在硫化钨靶材上,发生光烧蚀反应,熔融蒸发出靶材羽流,并沉积于多孔铜材表面,脉冲激光烧灼硫化钨的参数:Nd:YAG激光,激光束波长为525nm,输出最大单脉冲能量为50mj,重复‑6 o频率为100Hz,光斑1mm;真空度小于×10 Torr,温度为200C,脉冲激光烧灼时间为30min;

硫化钨靶材与衬底的距离为2cm;

o

(6)高温处理获得多孔铜基晶须材料:高温程序升温为10/min升至500 C,恒温时间为

1h,自然冷却至室温,高温氛围为0.5vol.%H2/He混合气。