1.用于集成电路封装过程中的散热设备,包括X向移动机构(1)、Y向移动机构(2)、Z向移动机构(3)、装载盒(4)和压力头(5),其特征在于:所述压力头(5)的顶部均匀连接有连接柱(54),所述连接柱(54)的顶部通过焊接固定有装载盒(4),所述装载盒(4)的顶部设置有Z向移动机构(3),所述Z向移动机构(3)的顶部设置有Y向移动机构(2),所述Y向移动机构(2)的顶部设置有X向移动机构(1)。
2.根据权利要求1所述的用于集成电路封装过程中的散热设备,其特征在于:所述压力头(5)的顶部开设有出风口(52),所述压力头(5)的两侧对应开设有进风口(51),所述压力头(5)的内部对应安装有引风机(552),所述压力头(5)的底部内壁安装有导热片(56),所述压力头(5)的内部安装有第二热交换管(55),所述引风机(552)的出口与第二热交换管(55)相对应,所述引风机(552)的进口与进风口(51)相对应,所述第二热交换管(55)的两端对应连接有分流阀(551),所述第二热交换管(55)的一端连接有第一软管(53),所述第二热交换管(55)的另一端连接有第二软管(57)。
3.根据权利要求2所述的用于集成电路封装过程中的散热设备,其特征在于:所述装载盒(4)的内部设置有流量调节装置(43)、第一热交换管(44)、压缩机(45)和四通阀(46),所述第一软管(53)的一端伸入装载盒(4)的内部,且第一软管(53)上分别设置有流量调节装置(43)和第一热交换管(44),所述第一热交换管(44)的一端连接有第一导管(47),所述第一导管(47)的一端与压缩机(45)相连接,所述压缩机(45)的一端连接有第二导管(48),所述第二导管(48)与第一导管(47)之间设置有四通阀(46),所述四通阀(46)的一端与第二软管(57)相连接。
4.根据权利要求3所述的用于集成电路封装过程中的散热设备,其特征在于:所述流量调节装置(43)包括膜片(431)、扩张部(432)、出口流道(433)、入口流道(434)、阀球(435)、压力弹簧(436)和T型杆(437),所述调节装置(43)本体的形状为L型,其顶部设置有扩张部(432),且其底部贯通有入口流道(434),其一侧贯通有出口流道(433),所述入口流道(434)的内部设置有压力弹簧(436),所述压力弹簧(436)的一端连接有阀球(435),所述阀球(435)的顶部通过焊接固定有T型杆(437),所述T型杆(437)的顶端与膜片(431)相接触,所述扩张部(432)的内部设置有膜片(431),所述入口流道(434)的内壁在转角处向内收缩,且收缩的部分与阀球(435)位配合结构。
5.根据权利要求4所述的用于集成电路封装过程中的散热设备,其特征在于:所述扩张部(432)的上部腔体贯通连接有调节管(562),所述调节管(562)的一端贯通连接有圆柱块(561),所述调节管(562)伸入压力头(5)的内部,所述圆柱块(561)穿过并凸出于压力头(5)的底部,所述圆柱块(561)与调节管(562)的内壁之间设置有弹簧。
6.根据权利要求1所述的用于集成电路封装过程中的散热设备,其特征在于:所述X向移动机构包括上固定座(11),所述上固定座(11)的底部设置有第一电机(12),所述第一电机(12)的连接有第一丝杆螺母(121)。
7.根据权利要求6所述的用于集成电路封装过程中的散热设备,其特征在于:所述Y向移动机构(2)包括第一导轨(21),上固定座(11)的底部对应安装有第一导轨(21),所述第一导轨(21)与U型座(22)滑动连接,所述U型座(22)的底部安装有第二电机(23),所述第二电机(23)的输出轴连接有第二丝杆螺母(231)。
8.根据权利要求7所述的用于集成电路封装过程中的散热设备,其特征在于:所述Z向移动机构(3)包括第三电机(31),第二丝杆螺母(231)的底部对应安装有第三导轨(32),所述第三导轨(32)与装载盒(4)滑动连接,所述第二丝杆螺母(231)的底部安装有第三电机(31),所述第三电机(31)的输出轴连接有第三丝杆螺母(311),所述第三丝杆螺母(311)与装载盒(4)通过焊接固定。