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专利号: 2019105895805
申请人: 吉林师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2025-12-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种Ag/ZnS纳米复合SERS基底,其特征在于,该基底是以直径200nm具有二维有序的六方密排周期性聚苯乙烯胶体球阵列表面上共溅射Ag与ZnS得到的;Ag与ZnS的复合的摩尔比为1:(2~10)。

2.根据权利要求1所述的Ag/ZnS纳米复合SERS基底,其特征在于,Ag与ZnS的复合的摩尔比为1:8。

3.如权利要求1所述的Ag/ZnS纳米复合SERS基底的制备方法,具体步骤如下:

1)在硅片上制备直径200nm的具有二维有序的六方密排周期性聚苯乙烯胶体球阵列;

2)在具有二维有序的六方密排周期性聚苯乙烯胶体球阵列表面上共溅射Ag与ZnS;

其中,步骤2)的具体步骤如下:

将具有二维有序的六方密排周期性聚苯乙烯胶体球阵列的硅片装入磁控溅射腔体中,银靶和硫化锌靶分别装入磁控溅射磁性靶位及非磁性靶位上,靶位偏角为45°可控,将磁控-6溅射主腔体抽真空,使其背景气压低于1.0×10 方可开始实验,设置Ar气的气流量为

8.7SCCM,工作压强达到10-3m Torr量级,银的溅射功率设置为10W,ZnS的溅射功率为20~

100W,共同溅射时间为15min。

4.根据权利要求3所述的Ag/ZnS纳米复合SERS基底的制备方法,其特征在于,步骤1)在硅片上制备直径200nm的具有二维有序的六方密排周期性聚苯乙烯胶体球阵列的具体步骤如下:

1)取大块硅片浸泡于浓度为5%的十二烷基硫酸钠溶液中24小时使其表面具有亲水性;

2)另取空白鬼片切至尺寸为1cm×1cm,放入配制体积比为1:2:6的氨水、过氧化氢及去离子水溶液中,加热至250℃,操持15min直至不再有气泡冒出,待烧杯中的溶液冷却后将其倒出,依次加入去离子水和无水乙醇,交替超声清洗三次,随后放入去离子水中备用;

3)取200nm尺寸的聚苯乙烯胶体微球与无水乙醇混合,并超声使均匀分散,将混合溶液滴在局有亲水性表面的硅片上,使混合溶液在其表面均匀扩散,缓慢以45°倾斜角插入水中,将溶液在水面铺平,形成单层紧密排列的结构阵列,随后利用步骤2)中处理过的硅片进行捞取,利用静态蒸发自然干燥。