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专利号: 2019104985927
申请人: 百色学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 微观结构技术〔7〕
更新日期:2023-12-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种光驱磁控一体化微纳马达的制备方法,其特征在于:所述方法包括如下步骤:步骤一:在多孔阳极氧化铝模版(1)每个放置孔的内表面均溅射Ag层(2);

步骤二:向多孔阳极氧化铝模版(1)的每个放置孔内均浇筑Au溶液(4),并通过电沉积法进行沉积固定,沉淀时间为10‑20分钟;

步骤三:向多孔阳极氧化铝模版(1)的每个放置孔内均浇筑Fe溶液(3),通过电解还原硫酸亚铁的方法进行沉积固定,沉淀时间为30分钟;

步骤四:对多孔阳极氧化铝模版(1)进行退火加热处理,使得沉积固定后的Fe溶液(3)转化为Fe的氧化物(5);

步骤五:通过去离子水洗涤将多孔阳极氧化铝模版(1)和Ag层(2)进行溶解腐蚀,即可获得多个Au‑Fe氧化物双金属棒,即微纳马达(6)。

2.根据权利要求1所述的一种光驱磁控一体化微纳马达的制备方法,其特征在于:所述Ag层(2)的厚度为200nm。

3.根据权利要求1所述的一种光驱磁控一体化微纳马达的制备方法,其特征在于:所述多孔阳极氧化铝模版(1)的每个放置孔内浇筑的Au溶液(4)和Fe溶液(3)的高度均相同。

4.根据权利要求3所述的一种光驱磁控一体化微纳马达的制备方法,其特征在于:所述Au溶液(4)和Fe溶液(3)的浇筑高度均为1.5μm。

5.根据权利要求1或3所述的一种光驱磁控一体化微纳马达的制备方法,其特征在于:所述多孔阳极氧化铝模版(1)的每个放置孔的直径均为500nm‑40μm。

6.根据权利要求1所述的一种光驱磁控一体化微纳马达的制备方法,其特征在于:当所述微纳马达(6)悬浮在H2O2溶液中时,若没有光照时,微纳马达(6)只呈现布朗运动;若存在光照时,微纳马达(6)向Fe的氧化物(5)的方向运动。