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专利号: 2018110158310
申请人: 乐清市风杰电子科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-07-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆封装结构,其特征在于,包括:半导体衬底,具有相对的上表面和下表面; 位于所述上表面的多个焊盘; 位于所述多个焊盘上的多个焊球; 围绕所述多个焊盘和焊球的阻焊层; 围绕所述阻焊层的金属导热层,所述金属导热层仅位于所述上表面的边缘; 位于所述下表面的散热层;以及 连接所述金属导热层和所述散热层的多个导热通孔; 所述金属导热层的厚度与所述阻焊层的厚度相同;所述阻焊层的边缘具有阶梯形状,所述金属导热层内侧与该阶梯形状相匹配;所述金属导热层的材料选自Cu和Ni中的至少一种;所述阻焊层的上表面上具有一环形凹槽,所述凹槽深度小于阻焊层的厚度,且所述凹槽介于最外层的焊球与所述金属导热层之间;所述导热通孔填充导电材料,所述导电材料为Cu或Au。