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专利号: 2018104105091
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有多种部分埋层的绝缘层上硅LDMOS晶体管,包括衬底层、全埋氧层、硅膜层和器件顶层,其特征在于:所述的衬底层设置在底部,衬底层采用掺杂类型为P型掺杂的硅材料;衬底层上面为全埋氧层,全埋氧层采用二氧化硅;全埋氧层上面为硅膜层;所述的硅膜层包括源区、硅体、漂移区、漏区、部分埋氧层、部分P型硅埋层和部分N型硅埋层;部分埋氧层采用二氧化硅材料,源区、硅体、漂移区、漏区、部分P型硅埋层和部分N型硅埋层都为硅材料;硅体包围源区,源区和硅体位于硅膜层一侧,且源区位于硅膜层顶部;漂移区、漏区、部分埋氧层、部分P型硅埋层和部分N型硅埋层位于硅膜层另一侧,且漏区位于硅膜层顶部;

漏区、部分埋氧层、部分P型硅埋层和部分N型硅埋层之间的区域为漂移区;部分埋氧层和部分N型硅埋层位于全埋氧层上面,且部分埋氧层比部分N型硅埋层靠近硅体设置;部分N型硅埋层远离硅体的界面与漂移区的同侧界面对齐;部分P型硅埋层位于部分埋氧层上面,部分埋氧层长度大于部分P型硅埋层长度;沟道由源区和漂移区之间的硅体提供;部分埋氧层和部分P型硅埋层靠近硅体的界面与漂移区的同侧界面对齐;部分N型硅埋层掺杂浓度大于漂移区掺杂浓度;源区和漏区的掺杂类型为N型;硅体掺杂类型为P型;漂移区掺杂类型为N型;

所述的器件顶层包括栅氧化层、扩展氧化层、源电极、栅电极和漏电极;栅氧化层位于沟道上面,采用二氧化硅;扩展氧化层位于漂移区上面,采用二氧化硅;栅氧化层被栅电极全部覆盖;源电极位于源区上面,漏电极位于漏区上面。

2.根据权利要求1所述的一种具有多种部分埋层的绝缘层上硅LDMOS晶体管,其特征在于:所述的衬底和源电极都接地。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有多种部分埋层的绝缘层上硅LDMOS晶体管,其特征在于:所述的衬底层长40μm,掺杂浓度为4×1014cm-3;全埋氧层厚度为2μm;硅膜层厚度为

2μm;源区和漏区的长度均为5μm,掺杂浓度为1×1020cm-3;硅体掺杂浓度为1×1017cm-3;漂移区靠近硅体的界面与漏区靠近硅体的界面之间的距离为28μm;沟道长为2μm;栅氧化层厚

40nm;扩展氧化层厚80nm;硅体的长度为7μm;部分埋氧层厚度为0.6μm,长度为15μm;部分P型硅埋层的厚度、长度和掺杂浓度分别为0.4μm、7μm和1×1015cm-3;部分N型硅埋层的厚度、长度和掺杂浓度分别为0.2μm、16μm和1×1017cm-3;漂移区掺杂浓度为9×1015cm-3。

4.根据权利要求3所述的一种具有多种部分埋层的绝缘层上硅LDMOS晶体管,其特征在于:所述源区和漏区的厚度均为0.2μm,栅氧化层长2μm,扩展氧化层长29μm。