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专利号: 2015107357442
申请人: 辽宁师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-05-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种自催化生长大尺寸β-Ga2O3微米线的方法,其特征在于按如下步骤进行:a. 将纯度至少为99%的金属镓单质作为反应源材料,将反应源材料放在石英舟内,然后再将石英舟放入化学气相沉积设备石英管内的高温加热区;

b. 将生长室内的压力控制为10Pa,通入氩气为载气,氩气流量为50~150ml/min;

c. 当加热温度达到800~1200℃时通入氧气,氧气流量为5~10ml/min,生长时间为30分钟;

d. 关闭氧气,保持氩气流量,降温至100℃以下,取出产品。