1.一种3D芯片堆叠的含Ce、纳米Co的互连材料,其特征在于:其成分及质量百分比为:稀土元素Ce含量为0.01~0.5%,纳米Co颗粒为1~5%,其余为In。
2.一种权利要求1所述的一种3D芯片堆叠的含Ce、纳米Co的互连材料的制备方法,其特征在于:采用生产复合金属材料的常规制备方法得到。
3.一种权利要求1所述的一种3D芯片堆叠的含Ce、纳米Co的互连材料的制备方法,其特征在于:首先制备In-Ce中间合金粉末,其次混合In-Ce粉末、In粉末、混合松香树脂、触变剂、稳定剂、活性辅助剂和活性剂并充分搅拌,最后添加纳米Co颗粒,充分搅拌制备膏状含Ce和纳米Co颗粒的互连材料。
4.一种利用权利要求3所述方法得到的一种3D芯片堆叠的含Ce、纳米Co的互连材料形成高强度焊点的方法,其特征在于:使用膏状含Ce和纳米Co颗粒的互连材料,采用精密丝网印刷和回流焊工艺在芯片表面制备凸点,在压力1MPa~10MPa和温度170℃~260℃条件下实现三维空间的芯片垂直互连,形成高强度互连焊点。