1.一种含Pr、亚微米TiN的芯片堆叠互连材料,其特征在于:其成分及质量百分比为:
稀土元素Pr含量为0.01~0.5%,亚微米TiN颗粒为0.05~8%,其余为In。
2.一种权利要求1所述的一种含Pr、亚微米TiN的芯片堆叠互连材料的制备方法,其特征在于:可以采用生产复合金属材料的常规制备方法得到。
3.一种权利要求1所述的一种含Pr、亚微米TiN的芯片堆叠互连材料的制备方法,其特征在于:首先采用机械研磨法制备In-Pr中间合金粉末,其次混合In-Pr粉末、In粉末、混合松香树脂、触变剂、稳定剂、活性辅助剂和活性剂并充分搅拌,最后添加亚微米TiN颗粒,充分搅拌制备膏状含Pr和亚微米TiN颗粒的互连材料。
4.一种利用权利要求3所述方法得到的一种含Pr、亚微米TiN的芯片堆叠互连材料形成高强度互连焊点的方法,其特征在于:使用膏状含Pr和亚微米TiN颗粒的互连材料,采用喷印技术在芯片表面制备凸点,在一定压力(1MPa~10MPa)和温度(170℃~260℃)条件下实现三维空间的芯片垂直互连,形成高强度互连焊点。