1.一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺,所述的长晶设备上设置连接管,所述的连接管连接高真空阀,所述的高真空阀连接扩散泵,所述的扩散泵用于在所述的长晶设备上生成高真空环境,所述的连接管上设置1/2英寸电磁阀和真空计,所述的1/2英寸电磁阀连接1/2英寸计量阀,所述的1/2英寸计量阀通过软管连接1/2英寸球阀,所述的1/2英寸球阀连接氩气瓶,还包括进行集中控制的PLC控制器,所述的1/2英寸电磁阀、1/2英寸计量阀、真空计、扩散泵和高真空阀与PLC控制器通过信号线连接和通信,其特征在于:所述的PLC控制器中集成了氩气充填工艺程序,所述的氩气充填工艺程序设置以下步骤:步骤一、人工打开所述的1/2英寸球阀;在所述的长晶设备的加热功率降为零以后12个小时,所述的PLC控制器关闭所述的高真空阀,之后再关闭所述的扩散泵,若所述的真空计的读数1小时后高于10-2Pa,执行步骤二;若所述的真空计的读数1小时后低于10-2Pa时,执行步骤三;
步骤二、所述的PLC控制器开启所述的高真空阀,保持24小时后,关闭所述的高真空阀,打开所述的1/2英寸电磁阀开始填充氩气至真空度为10Pa,然后关闭所述的1/2英寸电磁阀;保持6小时后,打开所述的1/2英寸电磁阀,继续填充氩气至真空度为1000Pa,然后关闭所述的1/2英寸电磁阀;保持6小时后,即可打开所述的长晶设备;
步骤三、所述的PLC控制器打开所述的1/2英寸电磁阀开始填充氩气至真空度为9x10-
1Pa,关闭所述的1/2英寸电磁阀;保持12小时后,打开所述的1/2英寸电磁阀继续填充氩气至真空度为100Pa,关闭所述的1/2英寸电磁阀停止填充氩气;保持12小时后,打开所述的1/
2英寸电磁阀继续填充氩气至真空度为1000Pa,关闭所述的1/2英寸电磁阀停止填充氩气;
保持六小时后,打开所述的1/2英寸电磁阀填充氩气至大气压后,关闭所述的1/2英寸电磁阀并打开所述的长晶设备。