1.一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统,其特征在于,包括安装在冷却出水口的压力传感器,安装在冷却进水口的电子流量阀,进行集中控制的PLC控制器,其中,所述的压力传感器、电子流量阀与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统,其特征在于:所述的压力传感器的精度达到0.01兆帕,具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。
3.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统,其特征在于:所述的电子流量阀的调节精度达到1升/秒,具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。
4.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统,其特征在于:所述的PLC控制器内部设置冷却水压力自动控制算法,所述的冷却水压力自动控制算法包括以下步骤:步骤一:调节所述的电子流量阀的流量为Q,使所述的压力传感器达到P0;
步骤二:检测所述的压力传感器,获得出水压力P1,并计算压力偏差△P= P1-P0,如果△P的绝对值大于0.01兆帕,则进入步骤三;
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步骤三:调节所述的电子流量阀的流量,调节量△Q=-S △P/(ρQ),然后返回步骤二,其中,S为所述的冷却进水口的截面积,ρ为冷却水的密度。