1.一种迈克尔逊涉型光谱滤波器谐振频率锁定装置，其特征在于包括激光器分束系统、Michelson干涉型滤波器系统和光电探测系统；

激光器分束系统包括激光器、准直扩束器、第一分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第二分光镜、第三反射镜；Michelson干涉型滤波器系统包括立方分光棱镜、第四反射镜、第五反射镜，其中第五反射镜和频率谐调设备机械连接实现谐振频率调整；光电探测系统包括透镜、第一光电倍增管、第二光电倍增管、第三光电倍增管、差分放大器、示波器；

激光器发射的激光光束经准直扩束系统被扩束为宽光束平行光；宽光束平行光经过第一分光镜分成两路，其中一路经过第一分光镜透射后直接射入待锁频的Michelson干涉滤波系统作为监测光束；另一路依次经过第一反射镜、第二反射镜后，再经第二分光镜分成两路，其中第一路经过第二分光镜透射后，再经第三反射镜反射以角度θ2进入待锁频的Michelson干涉滤波器系统作为探针光束；第二路经第二分光镜反射后直接以角度θ1进入待锁频的Michelson干涉滤波器系统作为探针光束；两路探针光束以及监测光束经过待锁频的Michelson干涉滤波器系统时，两路探针光束与监测光束均由Michelson干涉滤波器系统内的立方分光棱镜分成两路，一路经立方分光棱镜透射后再由第四反射镜反射回立方分光棱镜，并经立方分光棱镜反射进入透镜；另一路经立方分光棱镜反射后再由第五反射镜反射回立方分光棱镜，并经立方分光棱镜透射进入透镜；几路光束被透镜聚焦在其焦平面不同位置并分别发生干涉，且干涉信号分别被第一光电倍增管、第二光电倍增管、第三光电倍增管接收并转换成电信号；将第一光电倍增管、第二光电倍增管输出的电信号输入差分放大器，差分放大器的输出信号反馈给频率谐调设备；而第三光电倍增管的输出电信号输入示波器作为锁频状态监测信号。

2.使用如权利要求1所述的一种迈克尔逊干涉型光谱滤波器谐振频率锁定装置的方法，其特征在于包括如下步骤：步骤1.计算两束探针光束的入射角；

步骤2.调节两束探针光束的入射角；

步骤3.查看示波器，判断锁频状态；

步骤1所述的两路探针光束的入射角包括θ1和θ2；θ1和θ2需满足如下匹配要求：θ1的选取需要使Michelson干涉滤波器对该角度入射的探针光束的光程差和0度角入射时的光程差之差ΔOPD(θ1)为(n1+1/4)λ0，即ΔOPD(θ1)＝(n1+1/4)λ0 (1)

其中，λ0是激光器中心波长，n1是一个待选定的整数（推荐值为0～10）；ΔOPD(θ1)的计算方法与所用的Michelson干涉滤波器的结构参数有关；若Michelson干涉滤波器两干涉臂的长度分别为d1和d2，折射率分别为ρ1和ρ2，则ΔOPD(θ1)可按如下几个式子计算OPD(0)＝2·abs(ρ1d1-ρ2d2) (2b)

ΔOPD(θ1)＝abs[OPD(θ1)-OPD(0)] (2c)

其中，abs(·)表示取绝对值,OPD(θ1)表示以角度θ1入射时Michelson干涉滤波器的光程差，OPD(0)表示光线正入射时Michelson干涉滤波器的光程差；只要选定了整数n1后，联立式（1）、（2）即可解出θ1；

要和θ1相匹配，入射角θ2必须满足Michelson干涉滤波器对该探针光束的光程差和正入射时的光程差之间的变化：ΔOPD(θ2)＝(n2-1/4)λ0 (3)

式（3）中，n2为另一个待选定的整数，为0～50且要比选定的n1大，同理，ΔOPD(θ2)可按如下几个式子计算ΔOPD(θ2)＝abs[OPD(θ2)-OPD(0)] (4b)

其中OPD(θ2)表示以角度θ2入射时Michelson干涉滤波器的光程差。只要选定了整数n2后，联立式（3）、（4）即可解出θ2。

步骤2所述的调节探针光束的入射角，具体如下：

2-1.在两路探针光束调节之前，通过频率谐调设备手动将第三光电倍增管的输出调为

0,即让Michelson干涉仪滤波器初始化处于频率锁定状态；

2-2.调节第二分光镜和第三反射镜，使得探针光束的入射角θ1和θ2的角度与步骤1计算出的入射角θ1和θ2相一致；

具体相一致的判断方法如下：

在实际光路调节时，先断开差分放大器接到频率谐调设备的反馈端，用精密移动转台先将其中一束探针光束的入射角度调节到θ1，再将另一束探针光束的角度确定在理论计算出的θ2附近，然后微调第二束探针光束的精密移动转台，直至差分放大器的输出达到0；

两探针光束的角度调节完成后，再将差分放大器的反馈端接入Michelson干涉滤波器的频率谐调设备；

步骤3所述的查看示波器，判断锁频状态，具体如下：

若Michelson干涉滤波器刚好锁定在激光器中心频率，则示波器的输出信号为0；若外部环境因素的影响造成Michelson干涉仪频率失锁定，则差分放大器会输出误差信号并反馈给Michelson干涉滤波器的频率谐调设备，频率谐调设备在该误差信号的驱动下自动调整干涉仪的谐振频率，直至锁定到所需激光中心频率；在这个过程中，示波器的输出信号也会逐步趋近0。

3.如权利要求1或2所述的一种迈克尔逊干涉型光谱滤波器谐振频率锁定的方法，其特征在于所述的第一分光镜是反射率大于透射率的分光镜；第二分光镜是50%:50%分光比的分光镜。

4.如权利要求3所述的一种迈克尔逊干涉型光谱滤波器谐振频率锁定的方法，其特征在于所述的第一分光镜的反射率与透射率比如下：T:R=10%:90%。