1.一种迈克尔逊干涉测量装置,其特征在于,包括激光器、光循环器、光束发散器、光功率计、第一分光板、第二分光板、第一反射镜、第二反射镜、支撑组件、工业相机、条纹计数器、第一导轨、第二导轨以及第三导轨以及液体槽;
所述激光器通过第一光纤连接所述光循环器,所述光循环器分别通过第二光纤和第三光纤连接所述光束发散器和所述光功率计,所述激光器发出的光信号经过所述光循环器后通过所述光束发散器呈一发散角输出,形成等倾干涉,所述光束发散器输出的发散光束经所述第一分光板分成反射光束和透射光束,所述反射光束经所述第一反射镜反射后回到所述第一分光板,由所述第一分光板透射到达所述第二分光板;所述第二分光板的第一反射光束由条纹计数器接收,所述第二分光板的第一透射光束由所述工业相机接收,所述透射光束经过所述液体槽后由所述第二反射镜反射回第一分光板后再由第一分光板反射至第二分光板,所述第二分光板的第二反射光束由条纹计数器接收,所述第二分光板的第二透射光束由所述工业相机接收;
所述第一导轨与所述第二导轨以及所述第三导轨均垂直,所述第一导轨、第二导轨以及第三导轨上均可转动地设置一个所述支撑组件,所述第一导轨上的支撑组件上设置所述第一分光板,所述第二导轨上的支撑组件上设置所述液体槽,所述第三导轨上的支撑组件上设置所述第二分光板;
所述工业相机、第一反射镜活动设置于所述第一导轨,所述第二反射镜活动设置于所述第二导轨,所述条纹计数器活动设置于所述第三导轨;
所述液体槽是长方体,与所述第二导轨成一夹角α放置,所述夹角α小于90°。
2.如权利要求1所述的迈克尔逊干涉测量装置,其特征在于,所述支撑组件包括转轴、调节板、调节螺栓以及转盘,所述转轴连接调节板,所述调节板通过调节螺栓与所述转盘连接。
3.如权利要求1所述的迈克尔逊干涉测量装置,其特征在于,所述光束发散器包括封装管、准直管以及径向变折射率透镜棒,所述径向变折射率透镜棒具有两个相对的第一端面和第二端面,所述第一端面用于发射光束以及调整光路时接收光信号,所述第二端面与第二光纤连接,所述第二光纤通过所述准直管固定,所述准直管与所述径向变折射率透镜棒封装在所述封装管中。
4.如权利要求1所述的迈克尔逊干涉测量装置,其特征在于,所述液体槽包括底板以及四个设置于底板上方的挡板,分别为第一透光板、第一挡板、第二透光板以及第二挡板,所述第一透光板和所述第二透光板平行,所述第一透光板和所述第二透光板内壁均镀金膜。
5.如权利要求4所述的迈克尔逊干涉测量装置,其特征在于,在激光入射所述第一透光板的中间位置保留宽度为2‑3厘米的矩形区域不镀膜或镀增透膜,在激光出射所述第二透光板的端面位置保留直径3‑4厘米的矩形区域不镀膜或镀增透膜。
6.如权利要求1所述的迈克尔逊干涉测量装置,其特征在于,所述第一反射镜和所述第二反射镜的安装面均设置有三个正三角形分布的螺钉,以调整所述第一反射镜和所述第二反射镜的镜面与光轴垂直。
7.一种精确信号解调方法,其特征在于,基于如权利要求1至6中任一项所述的迈克尔逊干涉测量装置,所述精确信号解调方法包括:根据所述条纹计数器接收到的第一反射光束和第二反射光束的条纹数量,计算出反射光束与透射光束的第一光程差;
根据工业相机对第一透射光束和第二透射光束的干涉条纹图像进行灰度、滤波、二值化后得带的条纹中心的像元位置,计算出第二光程差;
根据第一光程差和第二光程差确定的第一分光板的总光程差,得到迈克尔逊干涉光路中所述总光程差对应的液体浓度。
8.如权利要求7所述的精确信号解调方法,其特征在于,调节第一反射镜在第一导轨的位置,根据光循环器连接的光功率计所接收到的光源功率,在所述光源功率大于所述激光器发出的光源功率的20%时,确定第一反射镜的位置调整合格;
在条纹计数器或工业相机前方放置一白屏,调节第二反射镜在第二导轨的位置,使第一反射镜和第二反射镜反射的最亮光点重合。
9.如权利要求7所述的精确信号解调方法,其特征在于,根据预估的待测浓度大小来调整所述液体槽与光轴的夹角。