1.一种晶圆缺陷检测设备，包括检测基板(1)，其特征在于，还包括：

用于固定晶圆的支撑组件，所述支撑组件可翻转的安装于检测基板(1)上；

用于对晶圆表面进行清洁处理的喷气组件；

用于向晶圆表面进行喷涂检测用材的涂覆组件，所述涂覆组件可移动的设置于支撑组件上方。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述检测基板(1)一侧连接有电控柜(3)，所述电控柜(3)一侧设置有检测组件，所述检测组件包括光学成像模块(2)以及销接于电控柜(3)顶部的显示屏(4)，所述光学成像模块(2)和电控柜(3)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述支撑组件包括翻转架(8)，所述翻转架(8)底部一侧对称设置有两组第二耳板(11)，两组所述第二耳板(11)内贯穿且固定连接有支撑轴(12)，所述检测基板(1)上表面对称设置有两组第一耳板(10)，所述支撑轴(12)两端均和第一耳板(10)转动连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述翻转架(8)和检测基板(1)之间设置有驱动组件，所述驱动组件包括丝杆(14)，所述丝杆(14)表面滑动连接有驱动块(15)，所述驱动块(15)和丝杆(14)之间连接有内螺纹套，所述驱动块(15)上固定连接有第三耳板(16)，且驱动块(15)滑动连接于检测基板(1)内，所述翻转架(8)底部一侧居中位置固定连接有第四耳板(19)，所述第四耳板(19)和第三耳板(16)之间销接有第一连板(17)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述第一连板(17)两侧设置有两组导向组件，所述导向组件包括滑动设置于检测基板(1)内的导向块(21)，所述导向块(21)上销接有第二连板(20)，所述第四耳板(19)和第一连板(17)销接位置连接有连杆(18)，所述翻转架(8)底部一侧对称设置有两组第五耳板(29)，所述连杆(18)两端均转动安装于第五耳板(29)内，所述连杆(18)和第二连板(20)销接，所述检测基板(1)内开设有第一导向槽(28)，所述第一导向槽(28)内设置有导向轴(22)，所述导向轴(22)和导向块(21)滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述翻转架(8)上滑动连接有固定板(5)，所述固定板(5)内设置有吸盘(6)，且固定板(5)底面对称设置有两组滑块(7)，所述翻转架(8)内开设有至少六组滑槽(9)，所述滑块(7)和滑槽(9)匹配设置。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述涂覆组件滑动设置于固定板(5)上方的处理板(26)，所述处理板(26)内填充有检测用化合物，所述处理板(26)两端设置有调整套(36)，所述翻转架(8)两侧对称设置有电动滑台(25)，所述电动滑台(25)上连接有支撑杆(27)，所述调整套(36)和支撑杆(27)滑动套设；

还包括套设于导向轴(22)外部的第一气囊(23)，所述第一气囊(23)一端滑动连接于导向块(21)一侧，另一端所述第一气囊(23)固定连接于导向槽(28)内，所述第一气囊(23)固定端连通设置有喷涂支管(24)。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述处理板(26)包括喷涂槽(34)，所述喷涂槽(34)内装罐有检测用化合物且喷涂槽(34)底部连通有喷涂管(35)，两组所述喷涂支管(24)之间连通有喷涂主管(30)，所述喷涂主管(30)通过钢丝软管和喷涂槽(34)连通；

还包括气室(37)，所述喷涂槽(34)和气室(37)均通过连接管道(42)和第一气囊(23)连通，所述气室(37)底部通过弹簧(39)连接有清洁板(40)，所述弹簧(39)内设置有导向杆(41)，所述导向杆(41)一端和气室(37)滑动连接，且导向杆(41)另一端和清洁板(40)固定连接，所述气室(37)和清洁板(40)之间设置有和气室(37)连通的压力管(38)，所述压力管(38)排放的气体推动清洁板(40)和带检测的晶圆贴合。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述喷气组件包括两组套设于电动滑台(25)外部的第二气囊(31)，所述第二气囊(31)一端和电动滑台(25)的活动块连接，另一端所述第二气囊(31)固定连接于滑槽(9)一端，两组所述第二气囊(31)一端连接有连接气管(32)，所述电控柜(3)一侧设置有出气管(33)，所述连接气管(32)和出气管(33)连通设置。

10.一种晶圆缺陷检测方法，包括权利要求1-9任意一项所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：将待检测的晶圆放置于吸盘(6)上，启动外部泵体驱动吸盘(6)抽真空，吸附晶圆，从而固定晶圆的检测位置；

步骤二：启动电机(13)，带动丝杆(14)旋转，驱动驱动块(15)前移，改变第一连板(17)的角度，从而调整晶圆角度；

步骤三：固定板(5)翻转过程中，挤压第一气囊(23)，喷涂槽(34)内的检测用化合物经由喷涂管(35)喷涂至晶圆表面，至于喷涂槽(34)一侧的清洁板(40)，紧随喷涂后进行检测用化合物的去除；

步骤四：喷涂过程中，启动电动滑台(25)，第二气囊(31)受挤压，通过出气管(33)排气至晶圆表面清除浮尘；

步骤五：启动光学成像模块(2)，照射晶圆表面，通过光与晶圆表面凹陷处的检测用化合物作用，检测晶圆缺陷。