1.一种晶圆加工处理装置，包括用于对晶圆进行腐蚀的腐蚀箱、用于清洁的清洁箱以及对清洁后的晶圆进行干燥的干燥组件和固定组件，所述固定组件分别活动设于腐蚀箱、清洁箱以及干燥组件内，其特征在于，所述清洁箱和干燥组件内均安装有连接组件，所述干燥组件外侧壁和清洁箱外侧壁连接有安装板，所述安装板上安装有驱动组件，所述驱动组件设于清洁箱和干燥组件之间，所述驱动组件的输出端与腐蚀箱相连，所述驱动组件上安装有驱动杆，所述驱动杆的两端分别与清洁箱内的连接组件和干燥组件内的连接组件相连。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述驱动组件包括支撑板，所述支撑板设于安装板的底壁上，所述支撑板设于清洁箱和干燥组件之间，所述支撑板上设有电机座和支撑环，所述电机座和安装板上安装有电机，所述支撑环上活动安装有驱动轴，所述电机的输出轴端与驱动轴相连，所述驱动轴的另一端活动贯穿腐蚀箱侧壁设置，所述驱动轴上安装有偏心轮，所述偏心轮设于支撑环和腐蚀箱之间，所述偏心轮外侧活动套接有驱动件，所述驱动件的上端安装有套筒二，所述驱动杆活动贯穿套筒二设置，所述驱动件的两侧分别安装有推挤杆一和推挤杆二，所述推挤杆一靠近干燥组件设置，所述推挤杆二靠近清洁箱设置。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述连接组件包括固定板一，所述固定板一分别设于清洁箱内和干燥组件内，所述固定板一上安装有套筒一，所述套筒一为两端开口的空腔结构，所述套筒一内活动安装有旋转杆一，所述旋转杆一的两端分别伸出套筒一的两侧后活动安装在清洁箱相对两侧壁和干燥组件内，所述连接组件还包括拨动件，所述拨动件分别活动设于清洁箱外侧壁和干燥组件外侧壁上，所述旋转杆一的一端与拨动件的一端相连，所述驱动杆的一端活动卡接设于拨动件的另一端内。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述旋转杆一的两端分别安装有连接件一和连接件二，所述连接件一和连接件二分别设于套筒一的两侧，且设于清洁箱和干燥组件内，所述连接件一和连接件二上安装有连接网。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述干燥组件包括干燥箱，所述旋转杆一的两端分别活动卡接设于干燥箱相对两内侧壁上，所述干燥箱外侧壁安装有推挤组件一，所述清洁箱外侧壁安装有推挤组件二，所述推挤组件一与推挤杆一活动连接，所述推挤组件二与推挤杆二活动连接，所述推挤组件一包括弹簧一和伸缩杆，所述弹簧一套接设于伸缩杆上，所述弹簧一的一端和伸缩杆的一端均安装设于干燥箱外侧壁上，所述弹簧一的另一端和伸缩杆的另一端安装有连接板一，所述连接板一和干燥箱外侧壁之间连接有折叠囊，所述弹簧一和伸缩杆设于折叠囊内。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述推挤杆一的一端安装有推挤板一，所述推挤杆二的一端安装有推挤板二，所述推挤板一和推挤板二的侧壁均安装有多组用于减少摩擦力的滚珠，所述推挤板一与连接板一活动连接，所述推挤板二与推挤组件二中的连接板一活动连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述干燥箱侧壁内设有干燥腔一和干燥腔二，所述干燥箱内侧壁设有干燥孔一和干燥孔二，所述干燥腔一和干燥孔一贯通连接，所述干燥腔二与干燥孔二贯通连接，所述干燥箱与推挤组件二之间安装有通气管，所述通气管的一端与干燥腔二贯通连接，所述通气管的另一端与推挤组件二中的折叠囊贯通连接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述固定组件包括连接轮一、连接轮二和限位件，所述连接轮一和连接轮二分别设于限位件的两端，所述限位件上安装有多组用于固定的固定轮和滑动轮，所述固定轮固定设于限位件上，滑动轮活动卡接设于限位件上，所述固定轮和滑动轮交错放置，多组所述滑动轮外侧壁安装有连接件三，所述连接件三的一端活动贯穿连接轮二设置，所述连接轮二上安装有固定板，所述连接件三的一端设于固定板内，所述连接件三与固定板之间安装有弹簧二，所述滑动轮和固定轮相对侧壁上均安装有固定杆，所述滑动轮上安装有围挡件，所述固定轮上设有插孔，所述围挡件活动卡接设于插孔内，所述围挡件为网格结构。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述腐蚀箱侧壁活动安装有驱动轮，所述驱动轴的另一端与驱动轮相连，所述连接轮一设于驱动轮上，所述连接轮二上设有旋转杆二，所述旋转杆二活动贯穿连接件三的一端和固定板设置，所述腐蚀箱内设有滑槽，所述旋转杆二活动卡接设于滑槽内。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆加工处理装置，其特征在于，所述拨动件侧壁上设有卡槽，所述驱动杆的端部活动卡接设于卡槽内。