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专利号: 2023214590526
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-03-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体晶圆切割设备,包括顶盖(1),其特征在于:所述顶盖(1)的底部安装有限位挡板(2),所述限位挡板(2)外表面的底部套接有底座(3);

所述限位挡板(2)的正面和背面均安装有衔接座(4),所述衔接座(4)的前端和尾端均安装有存储箱(5),所述存储箱(5)的内部安装有控制座(6),所述控制座(6)的顶部开设有注料口(7),所述控制座(6)的内部开设有驱动仓(8),所述驱动仓(8)的内底壁安装有压力泵组件(9),所述压力泵组件(9)的输出端安装有输料管(10),且输料管(10)的尾端插接于控制座(6)的内部,所述限位挡板(2)的内壁嵌合安装有定位座(11),且控制座(6)的尾端卡接于定位座(11)的内部,所述压力泵组件(9)的输出端安装有喷头组件(12),所述定位座(11)的前端设置有温感探头(13),所述顶盖(1)的顶部安装有加固座(14),所述加固座(14)的顶部安装有电源组件(15),所述电源组件(15)的输出端安装有控制模块(16),所述控制模块(16)的底部设置有切割头组件(17)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述底座(3)的内壁安装有加工座(18),所述加工座(18)的内壁安装有驱动座(19),所述驱动座(19)的内底壁安装有固定座(20),所述固定座(20)的内壁安装有伺服电机(21),所述伺服电机(21)的输出端安装有限位丝杆(22),所述限位丝杆(22)的外表面螺纹连接有限位套管(23),所述限位套管(23)的顶部安装有升降座(24),且升降座(24)的外表面滑动连接于驱动座(19)的内壁,伺服电机(21)通电工作后其输出端可带动限位丝杆(22)的转动,继而调控升降座(24)的升降活动,所述升降座(24)顶部的四周均卡接有定位块(25),所述定位块(25)的顶部安装有加工面板(26),所述加工面板(26)的内壁按安装有隔热板(27),所述隔热板(27)的顶部设置有晶圆组件(28)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述底座(3)的内壁安装有底部安装有支撑座(29),所述支撑座(29)的内壁滑动连接有滑动板(30),所述滑动板(30)的内壁安装有底板(31),所述底板(31)的底部嵌合安装有防滑板(32),所述底座(3)底部的四周均安装有限位管(33),且限位管(33)的前端卡接于支撑座(29)的内部,支撑座(29)的内部可通过滑动板(30)的滑动从而带动底板(31)结构的上下活动。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述限位管(33)的内部滑动连接有限位杆(34),且限位杆(34)的前端连接于滑动板(30)的顶部。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述衔接座(4)外表面的四周均螺纹贯穿连接有固定螺栓(35),且固定螺栓(35)的前端螺纹连接于限位挡板(2)的内部。

6.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述支撑座(29)顶部的四周均开设有插接座(36),所述限位挡板(2)的底部设置有插接块(37),且插接块(37)插接于插接座(36)的内部。

7.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述限位管(33)的内壁设置有限位弹簧(38),且限位弹簧(38)的前端连接于限位杆(34)的尾端。

8.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述驱动座(19)顶部的四周均嵌合安装有伸缩杆组件(39),且伸缩杆组件(39)的顶部连接于升降座(24)的底部。