1.一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)左侧壁靠近顶部的位置从上到下依次设置有液泵(8)和电动伸缩杆(9),所述电动伸缩杆(9)的右端设置有喷淋管(10),所述箱体(1)左侧壁靠近顶部的位置设置有三通阀(11),所述液泵(8)均与喷淋管(10)和三通阀(11)相连通,所述三通阀(11)的外侧设置有进液管(12),且进液管(12)设有两个,两个所述进液管(12)远离三通阀(11)的一端贯穿箱体(1)左侧壁靠近底部的位置并延伸至箱体(1)的内部,所述箱体(1)内侧壁靠近中的位置设置有安装杆(2),且安装杆(2)设有六个,六个所述安装杆(2)相互靠近的一端设置有安装板(3),所述安装板(3)的上表面设有夹紧机构(4),所述箱体(1)的内部设有过滤机构(5)和振动机构(6),所述箱体(1)内顶壁的中部设置有研磨装置主体。
2.根据权利要求1所述的一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置,其特征在于:所述夹紧机构(4)包括安装块(401),且安装块(401)设有两个,两个所述安装块(401)分别设置在安装板(3)上表面的两侧,两个所述安装块(401)相互靠近的表面均设置有套杆(402),且套杆(402)设有六个,六个所述套杆(402)的内部均设置有夹紧弹簧(403),六个所述夹紧弹簧(403)远离安装块(401)的一端均设置有夹紧杆(404),每三个所述夹紧杆(404)远离安装块(401)的一端设置有夹紧板(405),两个所述夹紧板(405)远离安装块(401)的表面均设置有防滑垫。
3.根据权利要求1所述的一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置,其特征在于:所述过滤机构(5)包括固定块(501),且固定块(501)设有四个,四个所述固定块(501)设置在箱体(1)内中部的四角处,四个所述固定块(501)的内底壁均设置有复位弹簧(502),四个所述复位弹簧(502)的顶端均设置有连接块(503),且四个连接块(503)的底部分别滑动连接在四个固定块(501)的内部,四个所述连接块(503)的顶部设置有过滤网(504)。
4.根据权利要求3所述的一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置,其特征在于:所述振动机构(6)包括电机(601),且电机(601)通过机箱设置在箱体(1)后表面靠近中部的位置,所述电机(601)的输出轴通过联轴器传动连接有转动轴(602),且转动轴(602)的前端贯穿箱体(1)的后表面并延伸至箱体(1)的内部,所述转动轴(602)位于过滤网(504)的下方,所述转动轴(602)外表面靠近两端的位置均设置有椭圆块(603),且两个椭圆块(603)的外表面均设置有缓冲垫。
5.根据权利要求1所述的一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置,其特征在于:所述箱体(1)内靠近底部的位置设置有隔板(7),下方所述进液管(12)的下端位于隔板(7)的上方,所述箱体(1)右侧壁靠近底部的位置设置有排液管(14),且两个排液管(14)分别位于隔板(7)的上方和下方,两个所述排液管(14)内部的左端设置有密封阀。
6.根据权利要求1所述的一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置,其特征在于:所述箱体(1)正表面的顶部转动连接有密封门(13),所述密封门(13)正表面的左侧设置有把手,所述密封门(13)正表面的中部设置有观察窗,所述安装板(3)上表面的边缘处开设有漏液口,且漏液口设有多个。